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第30卷第5A期 计 量 学 报 V01．30．№5A
2009年10月 ACTAMETROLOGICA
SINICA October，2009
Ooi：10．3969／j．i鹞n．1000-1158．2009．z1．049
接触式定位控制传感器的研究
张旭东， 刘香斌， 叶孝佑， 王家立
(中国计量科学研究院，北京Z000]3)
摘要：介绍了一种高精度接触式电感定位传感器。它集光机电技术于一体。传感器测头接触到被测表面后。当
接触测量力达到设定值时，测头发出准确的定位信号。对传感器进行了定位重复性测量，其3倍标准偏差5nln。
关键词：计量学；定位传感器；接触测量；电感；干涉仪
中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000．1158(2009)5A-0189-03
oftheContact ControlSensor
Development Positioning
ZHANG Jia—li
Xu—dong，LIUXiang-bin，YE
Xiao-you，WANG
of
(NationalInstitute
Metrology，Beijing100013，China)
contact control with
Abstract：A sensor andelectrical is
positioning optical，mechanicaltechniquespresented．When
the ofthegengoriscontactedtothe the
worktableand measuredcontactforcereachedtotheset orientation
probe value，the
canbe The testofthiscontrolsensoris
signal resultshowsthat30islessthan
goL positioningrepeatability completed．The
5nm
Key sensor；Contact
words：Metrology；Positioningmeasurement；Inductancesensor；Interferometer
杆9与传感器外壳l间的弹簧10变形，使测量力逐
1 引 言 渐增大。测帽13、测杆9与电感线圈6刚性连接为
一体：当测量力达到设定值时(如1．47N)，电感磁
由中国计量科学研究院研制的量块激光干涉仪 芯7相对于电感线圈6过零，发出定位信号，由编制
利用稳频的He—Ne激光，直接采用激光干涉法测的程序控制电机停转，通过触发器(电感信号处理
量高等级量块，在测量时，要求定位装置能够在被测
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