薄膜生长中的表面动力学_1.pdfVIP

第23 卷 第1 期 物 理 学 进 展 Vol. 23, No. 1 2003 年3 月 PROGRE SS IN PHY SICS Mar . , 2003 : 1000O0542 ( 2003) 01O000 1O6 1 薄膜生长中的表面动力学( Ñ) 王恩哥 ( 中国科学院物理研究所国际量子结构中心, 北京 100080) : 本文较全面地从理论上研究了薄膜生长过程中原子在表面上的各种动力学表 现, 涉及的内容包括亚单层生长时, 原子在表面上的扩散, 粘接, 成核, 以及已经形成的原子岛 之间的相互作用, 兼并, 失稳, 退化等一系列过程。作为研究的基础, 在本文的第一部分( 即 0~ 6章) 中, 我们首先介绍了目前这方面理论研究中所主要使用的各种方法。例如, 第一性原 理计算, 分子动力学模拟, 蒙特卡罗模拟, 速率方程和过渡态( T ST) 理论等。基于这些研究, 我们介绍给