基于MEMS技术的热导池检测器在变压器油中气体监测系统的应用研究.docVIP

基于MEMS技术的热导池检测器在变压器油中气体监测系统的应用研究 黄德祥1，2，曹建1，2，王会海1，2，丁家峰1，2 (1．中南大学物理科学与技术学院，湖南 长沙 410083； 2．华电云通电力技术有限公司研发部，湖南 长沙 410007) [摘要] 基于MEMS技术设计的热导池检测器具有重量轻、体积小、成本低、灵敏度高等特点。本文首先介绍了用于变压器油中气体监测的色谱分析技术及存在的不足，分析了热导池检测器的工作原理和MEMS技术的特点，在此基础上根据实际的需求，设计了一个由基于MEMS技术的TCD构成的变压器油中气体在线监测系统，实验表明，该系统灵敏度、稳定性等均达到了现场检测的需求，能够应用于工业现场。 [关键词] 色谱技术；微机电系统；热导池检测器；变压器 [中图分类号] TP274+.5 [文献标识码] A Application study of thermal conductivity detector based on MEMS for the gas monitoring system of transformer oil Huang De-xiang1,2, Cao Jian1,2,Wang Hui-hai1,2,Ding Jia-feng1,2 (1.College of Physics Science Technology, Central South University, Changsha 410083, China; 2.RD Office, Huadian Yuntong Power Technical Co.,LTD.,Changsha 410007,China) Abstract: The thermal conductivity detector based on MEMS has the advantages of light weight, small size, low cost, high sensitivity. The gas chromatogram technology that is now widely used for gas analysis of transformer oil and its deficiency are introduced in this article. The principle of TCD and the characteristic of MEMS technology are also analyzed. Based on the analysis, a gas monitoring system of transformer oil composed of thermal conductivity detector based on MEMS is designed in this article. Experiments indicate that the sensitivity and stability of the system reaches the requirement of detecting and can be used in the industrial locale. Key words: Chromatogram technology; Micro Electro-Mechanical System; Thermal Conductivity Detector; Transformer 1 引言 变压器是电力系统中十分重要的设备，因此对变压器的运行状态进行监控是保证电网安全运行的关键。以变压器油中溶解的气体作为变压器故障监测的方法结合色谱检测技术已经被实践证明是行之有效的手段之一。变压器色谱技术中气体的定量检测常采用热导池检测器（TCD）和氢火焰检测器（FID），虽然这两种检测器的技术都比较成熟，但都存在体积大、成本高、灵敏度低、反应时间长等缺点[1,2]。因此，对其进行改进以适应现场的需求是十分必要的。 20世纪80年代以来，随着半导体工艺，特别是集成电路工艺技术的发展，依赖集成电路工艺的先进技术而发展起来了一类全新的微机电系统（Micro Electro-Mechanical System，简称MEMS）技术。它是在微米量级内设计和制造，集成了多种元件并适于低成本、大批量生产，具有小巧、高集成度、功能强大、能承受恶劣环境条件等特点[3,4]。目前，以MEMS技术设计制造的热导池检测器（TCD），正在逐步运用于色谱检测技术，它可以弥补现行检测技术中的不足，更适合于现场的运行。本文在分析现行色谱技术的优缺点基础上，提出了将基于MEMS技术的TCD应用于变压器油溶