压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制.pdfVIP

2014年 11月 1日 现代电子技术 NOV．2014 第37卷第21期 ModernElectronicsTechnique Vo1．37 NO．21 压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制 郭嘉亮，李朋志，李佩明 (中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 130033) 摘 要：针对压电陶瓷定位系统中电容传感器故障对定位精度的影响，对使用扩展卡尔曼滤渡(EKF)进行客错控制的 方法进行 了研究。以传感器采样 电路故障和掉 电故障为对象，对三阶轨迹规划算法下电容传感器的EKF滤波公式进行 了分 析 ，提 出以离散化迭代计算的EKF代替传统 的将非线性系统线性化 的方法。在压 电陶瓷定住系统实验平 台上 ，使用激光干 涉仪作为测量基准 ，在传感器采样 电路故障和掉 电故障的情况下，实现 了500 m行程 ，绝对精度小于3．5 m，误差小于 O．7％的定位控制 。结果表 明，基于EKF的电容传感器容错控制可 以有效减小传感器故障引起的控制误差，增加压 电陶瓷定 位系统的鲁棒性。 关键词 ：压电陶瓷；电容传感器 ；扩展卡尔曼滤波(EKF)；容错控制 中图分类号：TN820．3—34；TP273．5 文献标识码 ：A 文章编号：1004—373X(2014)21—0152．04 Faulttolerancecontrolofcapacitancetransducerin piezoelectricceramicpositioningsystem GUO Jia—liang，LIPeng—zhi，LIPei—yue (StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics．FineMechanicsandPhysics，CAS，Changchun130033，China) Abstract：Asthefailureofcapacitancetransducerhasabigimpactontrackingaccuracyofthepiezoelectricceramicposi— tioningsystem，themethodologyofusingextendedKalmanfilter(EKF)toimplementthefaulttolerancecontrolisinvestigated inthispaper．Aimingatthesamplingcircuitfailureandthepowerfailureofthetransducer，anEKF filteringformulaofcapaci— tancetransducerunderthree—ordertrajectoryplanningalgorithm isanalysed．ThemethodthatthediscreteiterativeEKFalgo— rithm istakentoreplacethetraditionalmethodisintroduced．Positioningcontrolexperimentisperformedwiththebenchmarkof thelaserinterferometer．TheresultsindicatethattheproposedmethodcanachieveO．7％ maximum trackingerrors．withthedevi— ationof±3．5 m ，inastrokeof500 m．TheexperimentalresultsindicatethatthefaulttolerancecontrolmethodbasedonEKF canthecontrolerrorcausedbytransducerfaultandincreasether