中国电子气体的现状及发展走向.pdfVIP

第 22 卷第 6 期 低 温 与 特 气 Vol 22 ,No 6 2004 年 12 月 Low Temperature and Specialty Gases Dec ,2004 　　 综述评论 中国电子气体的现状及发展走向① 孙福楠 ,韩　美 ,陈晓惠 ,王秋娥 ,林　刚 , 田　波,梁　玉 (光明化工研究设计院 ,辽宁 大连 481 信箱 　116031) 摘要 :详细地介绍了中国电子气体的技术现状。从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上 进行了极为详细的介绍。同时 ,对电子气体的未来发展进行了展望。 关键词 : 电子气体;工艺制造 ;现状 ;展望 中图分类号: TQ117 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 (2004) The Present And Trend of Electronic Gases in China SUN F N , HAN M , CHEN X H , WAN G Q E , L IN G , TIAN B , L IAN G Y ( Guangming Research Design Institute of Chemical Industry ,Dalian 116031 , China ) Abstract :Detailed introduced the technology present of electronic gases in China. Detailed introduced the process of some main gases which used in the production of photoelectron and microelectronics . At the same time , look forward to the future of electronic gases . Key words :electronic gases ; process ; present ; trend 1 　前　言 车电子巨大的市场需求 , 中国在原电子部的几条 IC 生产线的基础上 , 又相继开发和引进几十条相 在微电子、光电子器件生产过程中 , 从芯片的 对比较先进的 IC 生产线 , 近年来又有大批民营资 生长到最后器件的封装 , 几乎每一步、每一个环节 金相继投入 IC 业 , 这极大地推动了中国超大规模 ( ) 都离不开电子气体 , 因此 , 电子气体被称为半导体 集成电路 VL SI 制造技术的不断进步。随着 IC 材料的“粮食”和“源”。半导体器件性能的好坏 , 产业国际化竞争日益加剧 , 中国完全依赖进口电子 在很大程度上取决于所用电子气体的质量 , 电子气 气体生产 IC 的现状正面临着严峻的市场考验。此 体纯度每提高一个数量级 , 都会极大地推动半导体 外 , 电子气体多为易燃、易爆、剧毒化学品, 在国 器件质的飞跃 , 正因如此 , 发达国家都在积极发展 际上属于控制范畴 , 进口相对麻烦 , 运输周期较 具有自主知识产权的电子化学气体 , 并且取得了明 长 , 这严重制约着国内光电子、微电子产业的健康 显的效果 , 由于电子气体质量决定着 IC