传感器及其信号调理技术 教学课件 作者 徐湘元 第2章（1）.pptVIP

第2章 电阻应变式与电容式传感器  【内容提示】 当力、扭矩、速度、加速度和流量等物理量作用于弹性元件时，导致元件应力和应变的变化，进而引起粘贴在弹性元件表面上的电阻应变片的电阻值变化，经电路处理后以电压或电流的方式输出，这就是电阻应变式传感器；类似地，将位移、振动、角度、压力、压差、液面等物理量变换为电容量的变化，并将该变化转变为电压、电流或频率输出，这就是电容式传感器。 2.1电阻应变式传感器 电阻应变式传感器（electrical resistance strain gauge type transducer）是一种利用电阻应变效应（resistance strain effects），由电阻应变片和弹性元件组合起来的传感器。图2-1为电阻丝应变片结构示意图，它是用直径约为0.025mm左右的具有高电阻率的电阻丝制成的。为了获得高的电阻值，电阻丝分布排列成丝网状，并粘贴在绝缘基片上，基长可为1.5～75mm，丝网宽可为2～10mm，丝网上面粘贴有起保护作用的覆盖层，电阻丝两端焊有引出导线。这样将电阻应变片粘贴在弹性元件特定表面上，当力、力矩、速度、加速度及流量等物理量作用于弹性元件时，引起元件应力和应变的变化，进而引起电阻应变片电阻的变化，经电路处理后以电信号的方式输出。它具有以下优点： （1）精度高，测量范围广。 （2）使用寿命长，性能稳定、可靠。 （3）结构简单、尺寸小、重量轻，因此在测试时，对工件工作状态及应力分析影响小。 （4）频率响应特性好，应变片响应时间约为s。 （5）可在高温、低温、高速、高压、强烈振动、强磁场、核辐射和化学腐蚀等恶劣环境条件下工作。 2.1.1 电阻应变片的工作原理 电阻应变式传感器的应变片可分为金属电阻应变片和半导体式应变片，见图2-2。导体或半导体材料在外应力作用下，会产生机械变形，其电阻值也将随着发生变化，这种现象称为电阻应变效应。 1-引出线 2-覆盖层 3-基底 4-电阻丝 图 2-1 电阻丝应变片结构 金属导体的电阻可用下式表示： (2-1)式中， 是电阻率；L为长度；S为横截面积。 当导体受到均匀应力时，那么 、 、 的变化 、 、 将引起电阻的变化。对式（2-1）微分可得： (2－2) （a）金属电阻应变片 （b）体型半导体式应变片 1-引线 2-半导体 3-基片 图 2-2 电阻应变式传感器的应变片 等式两边同除以（2-1）式得到其相对变化量为： (2-3) 若有 ，这里 r 为金属导体的半径，则有 。式(2-3)变为 (2-4) 其中， 为电阻丝的轴向应变， 为电阻丝的径向应变。由材料力学可知，在弹性范围内，金属丝受拉力时，沿轴向伸长，沿径向缩短，那么电阻丝的轴向应变与径向应变存在如下关系： (2-5) 式中， 为金属材料的泊松系数， ，负号表示两者变化方向相反。 将此式代入（2-4）式得 (2-6) 1）金属材料的应变电阻效应 其中C 表示由一定的材料和加工方式决定的常数，V 表示金属材料的体积。 将金属材料的应变电阻效应和式（2-7）代入（2-6）式中，得 (2-7) 式中， 为金属材料的应变灵敏系数（简称灵敏系数)，前半部分是受力后金属丝几何尺寸改变所引起的,后半部分则是材料的电阻率变化所引起的。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化。式(2-8)表示金属电阻丝的电阻相对变化与轴向应变成正比关系，称为金属材料的应变电阻效应。 2)半导体材料的应变电阻效