负胶膜厚及新胶.xlsVIP

Sheet3 Sheet2 Sheet1 负胶较厚测量 光刻胶 35992? 35814? 35717? 35819? 35554? 58398? 58506? 61650? 59179? 58872? NEX5575 30436? 21993? 30881? 29932? 29697? 以上数据得出：新胶NEX5575不能做为1170的替代品，胶厚不符合我们的要求。 1170曝光6、7、8秒后的图形如下（图形为4545） 曝光6秒 曝光7秒 曝光8秒 如图测量数据可得出过期的1170已经达不到我们10um的要求，角度较小，不符合使用。 1.00 2.00 3.00 4.00 5.00 202.00 1170.00