张宝先进制造技术.pptVIP

1.面向21世纪的先进制造系统与技术 b. 关键技术：变幅杆 c.用途 不导电的硬脆材料加工，微细加工 超声波焊接，食品，医药，塑料制品 超声波复合加工：超声波车削、磨削、 挤压，超声波电火花 Ⅲ激光加工 a. 激光的产生： 处于基态E1的钕离子吸收氙灯的很高范围的光谱而被激发到E4能级，在E4能级的寿命很短。通过无辐射跃迁到E3能级，E3能级寿命较长达到3x10－4s，形成了E3和E2能级的粒子数反转，当E3能级粒子回到E2能级时发出波长为1.06um的红外激光。 此红外线照射工作物质又是更多的E3能级的粒子跃迁到E2。 b. 应用 打孔 切割 焊接 热处理 Ⅳ电子束加工 a. 电子枪系统 获得电子束包括发射阴极，控制栅极和加速阳极b．真空系统 维持1.33x10－2～1.33x10－4Pac. 控制系统和电源 控制系统包括： 束流聚焦控制——提高电子束的能量（电磁 透镜） 束流位置——改变电子束方向（磁偏转） 束流强度 工作台移动 d. 应用 打孔，加工玻璃、陶瓷、宝石 喷丝头异形孔（直径0.03～0.07mm） 光刻 弯孔 Ⅴ离子束加工 灼热的灯丝发射电子，在阳极的作用下向下运动。同时受到电磁线圈的作用，变成螺旋运动。氩气从上口注入电离室，在电子的作用下被电离成等离子体。阴极和引出板各有数百个0.3mm的小孔，上下对齐，在引出电板的作用下形成数百条准直离子束打到工件上。 应用 刻蚀 粒子注入加工 制作:张宝 （1）概述 超精密加工指尺寸精度0.1um～0.01um，Ra：0.025um～0.01um，包括：金刚石刀具超精密车削、超精密磨料加工、超精密特种加工和复合加工、超精密测量。目前，正在朝纳米级工艺水平发展。 加工对象：激光聚焦腔、高密度磁盘、磁鼓、 雷达、陀螺、IC相关技术 加工技术：方法和机理 材料技术：工具材料和工件材料 加工设备：精度、刚度、稳定性、自动化 测量及误差补偿技术： 环境：温度1℃～0.02℃ 甚至0.0005℃ 湿度55～60％，洁净度1000级～100级 100指每立方英尺空气中大于0.5um的尘埃≤100个 （2）超精密切削加工 超精密铣床 关键部件：高精度主轴、低摩擦高平稳性滑台。主轴采用气体静压支撑，滑台采用气体静压系统支撑 超精密金刚石车床 主轴采用气体静压轴承，轴向和径向运动误差≤50nm，滑台采用高刚性、高阻尼和高稳定性的液体静压支撑。 （3）超精密磨削和磨料加工 超精密砂轮磨削技术：加工精度0.1um，表面粗糙度Ra0.025um砂轮，CBN磨料，砂轮线速度60m/s以上， 工件 进给速度5m/min以上 超精密砂带磨削技术：切削速度35m/min，表面粗糙度Ra0.043um 双端面精密磨削技术：为平面磨削，工件既公转又自传，磨料粒度 3000～8000，用于磁盘基片等零件的超精密加 工。 电泳磨削技术 电泳：带电粒子在电场中向与自身带电相反的电极运动的现象。 机理：在加工过程中，磨粒在电场力的作用下向磨具表面运动，并在磨具表面沉积形成一层细磨粒吸附层，利用该吸附层对工件进行磨削加工，同时新的磨粒又不断补充，使磨粒微刃保持锋利。如果磨粒表面凹凸不平，凹陷处电流大，新磨粒更容易在凹陷处沉积，从而保证沉积层平整。  超精密研磨与抛光技术 （a）超精密研磨技术 精度0.1um，Ra≤0.02um 用于：块规、球面空气轴承、半导体硅 片、光学镜头。（b）电解研磨（电化学机械） （4）超精密特种加工 激光、电子束、离子束（三束）、 微细EDM，用于IC芯片刻线，0.1um 线芯。 Ⅰ电化学加工技术 a.原理－阳极溶解原理 NaCl＝Na＋＋Cl－ H2O＝H++OH－ 阳极可能发生的电化学反应 若阳极为Fe，在外电源的作用下 放出 3个（或2个）电子，形成三价 或二价的铁离