IBM开发新工艺让硅片变废为新.pdfVIP

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IBM开发新工艺让硅片变废为新.pdf

●董土X7■■■■_■ ‘l~一目.U ~~-● 八口 一 纳米光学研究新进展开启了纳机电系统 EM (N S)的设计大门 当达到纳米数量级,光在两个非常 表面间只有几纳米宽的真空间隙时,光 接近(有时可达到10nm,比光的波长都 并不是通常的直线辐射,而是发生了弯 要小)的表面之间辐射光子会产生能 曲,他们同时注意到,在热辐射过程中, 量,在光波长被中断时,光的特性会发 倏逝波被分裂开,从而容许他们想象并 生变化,产生出一些不稳定的波,叫做 预见这些波的能量轨道。 倏逝波(evanescentwaves),这些很 理解这些波的行为对任何基于纳米 难预测方向的倏逝波更无法计算,这给 皇警婆苎苎要竺耋!!竺磐!粤的l耋璺嘎一技术的设备开发都非常重要,如基于热…’ 一。 …”’ ‘。 。… 两个金刚砂板之间的间距仅100nm。其中一个 研究者带来了巨大的工作挑战。 的温度比另~个更高。图中的线代表能量流, 辐射扫描隧道显微镜的纳米成像、扫描 当通过这个微小的间隙时-光波被弯曲了 近日,佐治亚理工大学的研究者发 质子一隧道显微镜等。 现了一种方法,可以预测辐射热传导时 说,“该发现告诉我们一些基本信息,在 更多信息请参考Thermal 产生的倏逝波的行为,这项重要发现为 利用纳米辐射热传导的一些设计中可以 Radiation 纳米技术及纳机电系统(NEMS)开启了确定板之间的距离以及板的尺寸大小。 开发设计的大门,如太阳能热辐射技术 在这个数量级上能了解光的行为,对利 致电张卓敏教授(zhuominzhang),电 8 等。 用这一现象的独特特性的设计技术是一 话是001—404—35—4225,Email: 该研究项目的领导人,佐治亚理工 个关键。” 大学的张卓敏教授(ZhuominZhang) 该研究团队发现,当质子通过两个——王丽英 旧M开发新工艺,让硅片变废为新 近日,IBM公司宣布已经成功开发最后的成品被称为“monitor”。 口,所以暂时还没有向消费电子产品制 该处理工艺的发明者EricWhite对 了一种可回收有瑕疵硅片的处理技术, 造商输出这种硅片的计划。 即通过这一技术,将处理过的废弃硅片 记者介绍,硅片表面需要新工艺加水和 IBM设在伯灵顿的工厂已经在 变成太阳能面板的生产材料。 磨砂片来清理,然后放置在干净的环境 2006年就试用过这一工艺,每年还可以 众所周知,各种电子设备都需要完 中待用,完成一块8英寸硅片的处理只 为IBM节约50多万美元的开支。今年 好的硅片,一旦硅片被发现有某些缺 需要1分钟左右。这些被清理干净的硅 IBM设在纽约EastFishkill的工厂也开 陷,就会立即被弃用。而在IBM的新工片最终可用于太阳能电池的生产。Eric始应用这种新处理技术,预计今年这个 艺中,硅片表面的一些废弃物质会被喷 还补充到,目前消费电子产品对硅片的 工厂可为IBM节省150多万美元。 砂工艺处理掉,然后再经新技术加工, 需求量实在太大,IMB无法填补这个缺

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