第3章-光学薄膜的设计理论.pptVIP

单一界面光斜入射 2.1.３单一界面反射率与透射率 第三章、光学薄膜器件设计 光学薄膜设计理论 矢量作图法，有效界面法，对称膜系等效层 引言：光学薄膜设计的２个基本问题 正问题： 　已知多层介质膜的结构参数计算其光学性质，利用特征矩阵方法可进行精密计算； 　即使上百层薄膜在宽光谱范围内反射和透射特性都可以瞬间完成； 反问题 　设计具有一定光学性质的多层介质膜结构； 　基本膜系的选择＋优化设计＋考虑工艺； 　　　本章重点介绍几种常用的光学薄膜设计理论 3.1 矢量作图法 条件： 　(1)膜层数比较少； 　(2)膜层没有吸收； 　(3)只考虑入射波在每个界面上的单次反射，忽略 界面上的多次反射 基本原理和模型 界面振幅反射系数 如果忽略膜层的吸收，则各个界面的振幅反射系数均为实数 各层薄膜的位相厚度 矢量作图法的基本步骤 首先计算各个界面的振幅反射系数和各层的位相厚度； 把各个矢量按比例画在同一张极坐标图上； 按三角形法则求合成矢量； 求得的合矢量的模即为膜系的振幅反射系数，辐角就是反射光位相变化，而能量反射率就是振幅反射系数的平方； 矢量作图法的约定 矢量作图法举例 矢量作图法举例－计算振幅反射系数 矢量作图法举例－计算矢量之间夹角 矢量作图法举例－矢量合成（λ＝400nm) 矢量作图法举例－矢量合成（λ＝520nm) 矢量作图法－光倾斜入射 3.2 有效界面法(菲涅耳系数法） 有效界面法－物理模型 有效界面法－分析方法 有效界面法－分析方法 有效界面法－基本思想 有效界面法－基本思想 有效界面法－分析方法 有效界面法－分析方法 有效界面法－分析方法 有效界面法－带通滤光片 3.3 对称膜系的等效层 单层膜特性矩阵的特点 单层膜特性矩阵的特点 多层膜特性矩阵的特点 对称膜系(PQP)的特征 对称膜系(PQP)的特征 对称膜系(PQP)的特征 对称膜系(PQP)的特征 对称膜系(PQP)的特征 对称膜系(PQP)的讨论 对称膜系(PQP)的讨论 周期性对称膜系 周期性对称膜系 周期性对称膜系 ３.4 导纳图解技术 任意一个光学薄膜系统都可以用一等效界面来表示，其反射、透射和位相特性由介质的导纳和等效界面的组合导纳确定； 基本上任一层薄膜的作用都可看作是改变等效界面的导纳，从而改变了薄膜系统的光学特性； 因此，如能形象的表示出等效导纳变化轨迹，将有助于直观的分析薄膜系统的特性及其变化，这就是所谓的导纳轨迹图解技术； T=1: sin2θ=0, R1=R2 T极小值：则sin2θ=１ 提高陡峭度：F越大越好，即提高R1和R2 前面 * 第３章 光学薄膜的设计理论 青岛大学物理科学学院 《薄膜光学技术》 主讲人：孔伟金 青岛大学物理科学学院 kwjsd@163.com N０ N1 S偏振光(TE波)：电场强度E垂直于入射面 P偏振光(TM波)：电场强度E垂直于入射面 单层膜的特征矩阵 由公式： 单层膜的反射 单层膜的反射率为： 这样就把单层膜的问题等效成了单一界面的问题，而不是用多次干涉的方法。 λ/2和λ/4的光学厚度 当膜层的光学厚度为λ/2时 当膜层的光学厚度为λ/4时 多层膜的反射 将这一结果推广到多层膜： 薄膜的特征矩阵的行列式等于1 典型光学薄膜系统的设计 减反射膜、高反射膜、中性分束膜 截止滤光片、带通滤光片、偏振分束膜、 消偏振膜 优点： 　(1)虽然是近似计算，但是对大多数减反射膜误差足够小； (2)矢量法计算简便、直观 如果忽略膜层内的多次反射，则合成的振幅反射系数由每一层界面的反射系数的矢量和确定。 每个界面的反射系数都连带着一个特点的相位滞后，它对应于光波从入射表面透射到该表面又回到入射表面的过程：