含氟废水处理工艺的技术改进.pdfVIP

维普资讯 第27卷第6期 工业水处理 Vo1．27No．6 2007年 6月 Industrial WaterTreatment Jun．，2007 含氟废水处理工艺的技术改进 程秀绵 (首钢 日电电子有 限公司，北京 100044) 【摘要]通过对集成 电路工厂废水种类、成分和原有废水处理工艺及原理的分析 ，以及对废水处理系统投入运行 以来在工艺、设备、控制等方面存在诸多问题的研究，经过 比较和分析 ，采用 日本富士化水公司开发的用于处理半导 体工业废水的专利技术——Heldy—F法。并对原有废水处理工艺进行了技术改造，改造后系统运行稳定 ，出水水质 达到国家标准 。运行成本降低 ，取得了良好的效果 。 [关键词]集成 电路 ；含氟废水 ；电镀废水 【中图分类号]X703．1 【文献标识码]B 【文章编号]1005—829X(2007)06—0084—03 Technicalreform inthefluorine-containingwastewatertreatment ChengXiumian (ShougangNECElectronicsCo．，Ltd．，Beijing100044，China) Abstract：Basedonthevariouskindsofwastewater，componentsandhtetechnologyandprincipleoftheoriginal wastewatertreatmentinanintegratedcircuitfactory，hteresearchesontheproblemsoftechnoloyg ，equipmentnad controlinhtewastewatertreatmentsystem sinceputtingintoactionhavebeencarriedon． Aftercomparisonnad naalysis，hteJapnaesepatenttechnique，Heldy-F，developedbyJujikasuiEngineeringCo．totreatsemi—conductor industrialwastewaterhasbeenusedforthetechnicalreformintheoriginalwastewaterrteatment．Aftertherefomr htesystem runsstably．Throughmonitoringthewastewatertreatmentefficiencynadcalculatingtherunningcost， thewastewaterdischarge issteady，reachinghtenational stnadrad nadhteurnningcostgetslower，obtaining excellentresuh． Keywords：intergatedcircuit；fluorine—containingwastewater；electroplatingwastewater 首钢 日电电子有限公司(SGNEC)是生产大规 袁 1 废水水质 模集成 电路的企业 。其在生产 中使用了大量的化学 药品和清洗水，产生大量的废水，主要包括：(1)含氟 废水 ，来 自前工序 的湿刻和工器具清洗排水 ；(2)电 镀废水，来 自后工序的电镀生产线排水；(3)酸碱废 水，来 自生产纯水的过程中树脂再生废水、RO浓缩 水、车间地沟废水等。各车间废水集 中排到该公司 的废水处理系统进行处理 。此废水处理系统于 1993 年建成 。1994年 l0月投产运行，废水水质见表 1，排 放标准见表 2。 1 废水处理工艺