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GWSP系列无油涡旋真空泵技术资料.doc
工业标准无油涡旋真空泵
GWSP系列
0o(360o)气体从外缘被吸 90o 气体在气腔内被压缩 180o气体被压缩至排气口 270o气体被压出排气口
应用/Applications GWSP150 GWSP300 GWSP600 GWSP1000 镀膜/Coating / * * * 真空炉/Vacuum Furnace / * * * 烘箱 手套箱/Glove Box * * * * 排气台/Vacuum Exhaust Station * * * * 真空封装 存储/Vacuum Packing * * * * 检漏/Leak Detector * * * / 气体回收再循环/Gas recovery * * * * 激光/Laser Processing * * * * 冷冻干燥/Vacuum Dry * * * * 高真空试验台/High Vacuum Test Station * * * / 分析测试仪器/Analyser * * * / 电子束 高能物理/High Energy Physics / * * * 罗茨泵前级/Rough Pump for Roots Pump / / * * 分子泵前级/Rough Pump for Molecular Pump * * * * 工业标准无油涡旋真空泵
GWSP系列
性能曲线/Performance Curve
Inlet pressure进气压力(Pa)
外形与连接尺寸/Connection
Size
Model A B C D E F G H M N K d1 d2 GWSP1000 548 359 397 336 267 184 121 195 224 303 191 40 16×2 GWSP600 487 316 360 291 252 160 93 174.5 206 288 174.5 40 16 GWSP300 457 290 336 267 245 160 93 169 200 275 156.5 25 16 GWSP150 416 245 277 220 214 109 82 130 155 250 135 25 16
工业标准无油涡旋真空泵
GWSP系列
技术指标/Technical Specification
型号Model GWSP1000 GWSP600 GWSP300 GWSP150 排气速度
Displacement 50Hz l/s 16.6 8.7 4.3 2.0 l/min 996.0 522.0 258.0 120.0 m3/h 59.8 31.3 15.5 7.2 cfm 35.8 18.7 9.3 4.3 60Hz l/s 19.9 10.4 5.1 2.4 l/min 1194.0 624.0 306.0 144.0 m3/h 71.6 37.4 18.3 8.6 cfm 42.8 22.3 10.9 5.1 极限真空度Ultimate Pressure Pa ≦1.0 ≦1.0 ≦2.6 ≦8.0 Torr ≦7.5×10-3 ≦7.5×10-3 ≦1.9×10-2 ≦6.0×10-2 mbar ≦1.0×10-2 ≦1.0×10-2 ≦2.6×10-2 ≦8.0×10-2 psi ≦1.4×10-4 ≦1.4×10-4 ≦3.8×10-4 ≦1.2×10-3 被抽气体种类Pumping gas 用于抽洁净气体和含有水分的气体,不能抽有毒、易燃易爆、腐蚀性以及蒸汽、化学品、溶剂及大量粉末等。
Suitable for use on Clean processes only. Do not use explosive, flammable, toxic or corrosive substances or substances which contain chemicals, solvents or particles. 漏率(排气口和气镇阀关Leakage 1×10-2Pa·l/s(1×10-4mbar· l/s) 最大进/排气压力
Max. Inlet/Exhaust Pressure MPa 0.1 /0.13 工作环境温度
Ambient Operation Temp ℃/℉ 5~40/41~104 最大水分处理能力
Max. Water Treatment G/day 25 5 电机
Motor 输出功率Output kW/hp 1.50/2.00 0.75/1.00 0.55/0.74 0.37/0.49 工作电压
O
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