不同掺氮量的类金刚石薄膜的微观结构及其性能研究.pdfVIP

第 29 卷 增刊 真 空 科 学 与 技 术 学 报 2X( 刃年 5 月 CHN[ 此E 30 班创AL ro VACU[ MJ CS FI 入CE AND 几 CHN0 ll X 万 不 同 掺 氮 量 的 类 金 刚 石 薄 膜 的 微 观 结 构 及 其 性 能 研 究 周 沸 井 马胜歌 康光宇 耿 漫 ( 深圳八六三计划材料表面技术研发 中心 深圳 l5 (8 犯9 ) 加五c 哪 t n lc tt 叮e na d M ce 抽 耐ica rP o Pe rt ie of N- Do 脚沮 肠 画 的n d .L 认