半导体材料制造企业实施清洁生产的问题与对策分析.pdf

摘 要 信息技术产业的飞速发展，对作为该产业的底层支撑的半导体材料有着非 常大的需求。特别是以砷化镓材料为主的新型的高性能半导体材料有着非常良 好的市场前景。但随着半导体行业的发展，半导体材料的生产制造成本越来越 高，生产过程中排放的大量废水、废气、固废和其它种类繁多的有毒有害污染 物对环境的影响也越来越大。在半导体材料制造行业中推行和实施清洁生产， 无论对于环境保护还是对企业自身的发展都是势在必行的。 首先，通过对半导体材料行业的发展过程介绍，了解半导体材料行业的生 产过程和市场应用前景以及对环境的影响，认识到半导体材料行业实施清洁生 产的必要性。然后从企业管理、政策规定、清洁生产成本、生产技术以及环境 保护执法等不同层面分析归纳出半导体材料制造企业的实施清洁生产的问题。 并针对问题成因，给出半导体行业推行清洁生产的政策和措施建议以及具体实 施方案。 对清洁生产的产生背景、定义、目的、实施目标、特点以及内容进行了阐 述，并详细说说明了清洁生产与ISO14000 及环境标志的区别与关系，三者共同 体现了治理污染预防为主的思想，相辅相成，互相促进。围绕半导体材料制造 企业实施清洁生产中的问题，人们现已取得了那些研究成果，进行文献综述和 经验分析，总结出清洁生产的意义。 实例分析，介绍北京