触针式光电三维微位移测量系统设计.pdfVIP

摘要 微纳米测量技术已成为当今国内外测量技术领域研究的热点和前沿，也是我 国重点支持和发展的高新技术之一。随着微纳米技术的发展，出现了各种微纳米 级别的测量仪器，如纳米坐标测量机、光学显微镜、电子显微镜、扫描隧道显微 镜(STM)、原子力显微镜(AFM)等等，但这些仪器一般都非常昂贵，多应 用于研究领域中，不适合应用到本科实验教学中。本文设计了一种低成本触针式 微位移测量系统，可应用于本科生微纳检测实验教学中，在保证一定测量精度的 基础上，充分演示了微小尺寸的测量原理，有利于促进本科生在实验教学中对学 科前沿知识的融会贯通。 本系统中激光器发出的光束投射到悬臂梁背面的小平面镜上，光束经小平面 镜反射后，投射到PSD传感器上。该系统通过探针感知微位移变化，当探针感 知到被测物表面的起伏而上下移动时，带动悬臂梁发生弯曲而使光路发生变化， 最终使PSD传感器上光斑的位置发生变化，且光斑移动距离和探针移动距离有 一一对应关系。测出PSD传感器上光斑移动距离，即可通过几何光学的关系计 算出探针移动的距离。通过对若干采样点的测量，得到被测表面形貌。 本文根据微位移测量系统的光路建立了该系统的数学模型，并对数学模型中 系统参数的标定方法进行了分析。完成了微位移测量系统中铍青铜材料、低弹性 系数的悬臂梁和耐磨探针的设计，最后搭建了系统的实验平台。采用LabVIEW 软件对系统的输出数据进行滤波、运算、显示及保存处理，并在此系统软硬件的 基础上完成了稳定性和精度的评估，以及误差分析、系统参数的标定实验和样件 测量实验。 实验表明该系统能够很好地应用于微纳测量本科实验教学任务。 关键词： 微位移测量悬臂梁PSD传感器参数标定 ABSTRACT Micro—nano—measurementhasbecomeahotand researchin cutting-edge allovertheworldanditisalsooneofthe measurementfield high—tech technology whichare the of technologiesbeingsupportedbygovernment．Withdevelopment nano micro-nano-levelmeasurementinstrumentsare microand technologies，various outsuchasNanoCoordinate coming Measuringmachines，OpticalMicroscopy, Electron Force Microscopy,ScanningTunneling whichare usedinresearchandare and very Microscopy(AFM)，ectwidely expensive notsuitablefor for low—cost experimentsteachingundergraduates．Astylus is inthis canbeusedin system paper,which micro—displacementmeasuringproposed