力平衡MEMS加速度计的系统级建模与仿真.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２９ ５ 犞狅犾．２９ 犖狅．５ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ ５ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犕犪 ２００８ 狔 犛狊狋犲犿犔犲狏犲犾犕狅犱犲犾犻狀 犪狀犱犛犻犿狌犾犪狋犻狅狀狅犳犉狅狉犮犲犅犪犾犪狀犮犲犕犈犕犛 狔 犵  犃犮犮犲犾犲狉狅犿犲狋犲狉狊  ， ， 犣犺犪狀 犢狌犳犲狀 犔犻狌犡犻犪狅狑犲犻 犪狀犱犆犺犲狀犠犲犻犻狀 犵 犵 狆 犵 （ ， ， ， ） 犕犈犕犛犆犲狀狋犲狉 犎犪狉犫犻狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犜犲犮犺狀狅犾狅 犎犪狉犫犻狀 １５０００１ 犆犺犻狀犪 犳 犵狔 　 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋 犜犺犻狊 犪犲狉 狉犲狊犲狀狋狊狋狑狅犪 狉狅犪犮犺犲狊犳狅狉狊狊狋犲犿犾犲狏犲犾狊犻犿狌犾犪狋犻狅狀狅犳犳狅狉犮犲犫犪犾犪狀犮犲犪犮犮犲犾犲狉狅犿犲狋犲狉狊．犜犺犲犱犲狉犻狏犪狋犻狅狀 狆狆 狆 狆狆 狔 狅犳狋犺犲狊狊狋犲犿犾犲狏犲犾犿狅犱犲犾犻狊犲犾犪犫狅狉犪狋犲犱犪狀犱狊犻犿狌犾犪狋犻狅狀狉犲狊狌犾狋狊犪狉犲狅犫狋犪犻狀犲犱犳狉狅犿狋犺犲犻犿 犾犲犿犲狀狋犪狋犻狅狀狅犳狋犺狅狊犲狊狋狉犪狋犲犻犲狊狅狀 狔 狆 犵 狋犺犲犳犪犫狉犻犮犪狋犲犱狊犻犾犻犮狅狀犳狅狉犮犲犫犪犾犪狀犮犲犕犈犕犛犪犮犮犲犾犲狉狅犿犲狋犲狉．犜犺犲犿犪狋犺犲犿犪狋犻犮犪犾犿狅犱犲犾狉犲狊犲狀狋犲犱犻狊犻犿 犾犲犿犲狀狋犲犱犻狀犞犎犇犔 狆 狆 ， 犃犕犛犪狀犱犛犐犕犝犔犐犖犓犜犕 狉犲狊犲犮狋犻狏犲犾．犜犺犲狊犻犿狌犾犪狋犻狅狀狉犲狊狌犾狋狊犳狉狅犿狋犺犲狋狑狅犪 狉狅犪犮犺犲狊犪狉犲犮狅犿 犪狉犲犱犪狀犱狊犺狅狑犪狊犾犻犺狋 狆 狔 狆狆 狆 犵 ， ， 犱犻犳犳犲狉犲狀犮犲．犝狊犻狀 犞犎犇犔犃犕犛犻狊犳犾犲狓犻犫犾犲狉犲狌狊犪犫犾犲犪狀犱犿狅狉犲犪犮犮狌狉犪狋犲．犅狌狋狋犺犲狉犲犻狊狀狅狋犪犿犪狋狌狉犲狊狅犾狏犲狉犱犲狏犲犾