原子力显微镜之原理与应用及其操作实例.pdfVIP

原子力顯微鏡之原理與應用 原子力顯微鏡之原理與應用 及其操作實例 及其操作實例 陳建洋 工研院機械所 94.01.21 1 94.01.21 1 Outline •何謂原子力顯微鏡 (Atomic Force •何謂原子力顯微鏡 (Atomic Force Microscope, AFM) ，及其發展歷史 Microscope, AFM) ，及其發展歷史 •AFM之原理 •AFM之原理 --懸臂樑探針懸臂樑探針 --探針位移檢測探針位移檢測 試片掃瞄致動試片掃瞄致動-- ••AFMAFM於奈米科技之應用於奈米科技之應用 ••AFMAFM使用操作實例使用操作實例 94.01.21 2 94.01.21 2 常見顯微技術比較表 常見顯微技術比較表 掃描式電子顯 穿透式電子顯 掃描探針顯 光學顯微鏡 微鏡 微鏡 微技術 （OM ） （SEM ） （TEM ） （SPM ） 橫向解析度 200 nm 2-5 nm 原子級 原子級 縱向解析度 200 nm 20 nm 無 原子級 成像範圍 1 mm 1 mm 0.1 mm 0.1 mm 成像環境 無限制 真空 真空 無限制 樣品準備 無 鍍導電膜 手續繁複 無 成份分析 有 有 有 無 功能 94.01.21 3 94.01.21 3 What is AFM What is AFM 原子力顯微鏡(1986年誕生)為掃描探針顯微技術(Scanning Probe Microscopy, SPM)的一種，係指具有『微細探針機制 』及『掃描機制與動 作 』的顯微技術；而AFM為SPM的代表儀器。其在科學上的應用已非侷限 於奈米尺度表面影像的量測，更廣為應用於探索奈米尺度下，微觀的物性 (光、力、電、磁量測甚至操作，對奈米科技有直接的助益。) 主要包含幾個子系統：微探針、 感測器、掃瞄平台和控