传感器第4版课件教学配套课件唐文彦第09章谐振式传感器.pdfVIP

谐振式传感器  　一概述  　二谐振式传感器的理论基础  　三振弦式谐振传感器  　 四振膜式谐振传感器  　五振筒式谐振传感器  　六振梁式谐振传感器  　七压电式谐振传感器  八应用举例 一概述 基于谐振技术的谐振式传感器，自身为周期 信号输出（准数字信号），只用简单的数字 电路即可转换为微处理器容易接受的数字信 号。谐振式传感器的重复性、分辨率和稳定 性等非常优良，又便于和微处理器直接结合 组成数字控制系统，自然成为当今人们研究 的重点。  谐振式传感器大体分为两类：一类是基于机械谐振 结构谐振式传感器；另一类是MOS环振式谐振传感 器。本章主要介绍基于机械谐振结构的谐振式传感 器。它们可利用振动频率、相位和幅值作为敏感信 息的参数。由于谐振式传感器有许多优点，也适于 多种参数测量，如压力、力、转角、流量、温度、 湿度、液位、粘度、密度和气体成分等，所以这类 传感器已迅速发展成为一个新的传感器家族。 二谐振式传感器的理论基础 1 基本结构 2 闭环自激 3 敏感机理 4 谐振子的Q值 5 设计要点 6 特征与优势 1 基本结构 谐振式传感器的基本结构  由ERD组成的电— 机— 电谐振子环节，是谐 振式传感器的核心。适当地选择激励和拾振 手段，构成一个理想的ERD，对设计谐振式 传感器至关重要。  由ERDA组成的闭环自激环节，是构成谐振 式传感器的条件。  由RDO(C)组成的信号检测、输出环节，是实 现检测被测量的手段。 2 闭环自激  实际应用的谐振敏感元件多为弹性敏感元件。在讨 论其振动特性时，可以用一个等效的单自由度有阻 尼的系统来描述（如下图）。图中k，m，c分别为 等效刚度、等效质量和等效阻尼。其自由振动的运 动方程为： 式中 ， ， kx分别为系统的惯性力、阻尼力和 弹性力，它们分别表征维持系统运动状态的能力、 消耗系统能量的程度和改变系统运动状态的能力。 单自由度振动系统 自由振动的解为 代入，有 由于谐振式传感器使用的振动系统总是有振 荡的，故解应写为 式中i为虚数单位；ωn为系统的固有频率， 取决于谐振敏感元件的固有特征；ε为系统 的等效阻尼比；ωd为系统的振荡频率。  于是解为 式中A0 ，φ0 由系统的初始条件确定。 由式可知： 增大时，系统的衰减加快，消耗能 量快；ε增大时，系统的振荡周期增长；当ε→0 时，(当ε=0时， )。这时系统处于简谐振动状 态；振动频率只ωd与系统的固有状态有关。  当系统受到周期激励力作用时，由于周期函 数可以展开为Fourier级数，若考虑为时，系 统的振动方程为： 该方程的解包括两部分：一部分是系统初始 条件引起的，其运动形式同上式；另一部分 由外界激励引起的稳态解，可写为  式中C0是幅值为B的恒静力对系统产生的位移； A( ω) ，φ( ω) 分别称为系统的幅频特性和相频特 性。下图给出了他们的示意图。  当 时，A( ω)达到最大值，有 这时系统的相角偏移为  由上面分析可知：谐振式传感器闭环自激的 频率点必然接近于谐振敏感元件的固有频 率。下面讨论闭环自激的条件。 幅相特性  首先从时域进行分析，见下图。从信号激励器来考 虑，某一瞬时作用于谐振子上的信号为，于是信号 检测器的输入信号满足 当 时，u2可写为： 当u2经检测器、放大器、激励器后，输出为可写为 于是满足下式时，系统以频率ω产生闭环自 激。 称此为系统可自激的时域幅值、相位条件。 简言之，只要放大器能不断给系统补充由于 阻尼所消耗的能量，同时通过调节移相器又 能保证在每个周期同相位迭加，那么该系统 就能进行等幅自激振荡。再从复频域分析， 见图5-5 。其中R(s)，E(s)