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非电量
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电容元件
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1920~1925 电容传感器用于测量
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70~80年代,应用广泛
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集成电容传感器
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1
§3-1 电容式传感器的原理和结构
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一、基本工作原理
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1、平板电容器
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0rA
C
C —— 电容量,单位:F 法拉
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-12
0—— 真空介电常数,8.85 ×10-12F/m
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r —— 极板间介质的相对介电常数
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2
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A —— 极板的有效面积(m )
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—— 两平行极板间的距离
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(m )
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2
电容式传感器
变间隙型 变面积型 变介质型
2、圆筒形电容器
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3
二、变间隙型电容传感器
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1、基本特性
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极板上移:
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1 2
rA rA
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