传感器原理与检测技术课件教学配套课件配套课件钱显毅第5章.pdfVIP

第5章 压电式传感器 5.1 压电效应 5.1.1 石英晶体的压电效应 5.1.2 压电陶瓷的压电效应 5.2 压电材料 5.2.1 石英晶体 5.2.2 压电陶瓷 5.3 压电式传感器的等效电路和测量电路 5.3.1 等效电路 5.3.2 测量电路 5.4 压电式传感器的应用 5.4.1 压电式加速度传感器 5.4.2 压电式压力传感器 第5章 压电式传感器 5.4.3 压电式流量计 5.1 压电效应 5.1.1 石英晶体的压电效应 5.1.2 压电陶瓷的压电效应 5.1.1 石英晶体的压电效应 1) 无论是正或逆压电效应，其作用力(或应变)与电荷(或电场强度) 之间呈线性关系。 2) 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电 效应。 3) 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应。 5.1.1 石英晶体的压电效应 图5-1 石英晶体 a)理想石英晶体的外形 b) 坐标系 5.1.1 石英晶体的压电效应 图5-2 硅氧离子的排列示意图 a)硅氧离子在Z平面上的投影 b)等效为正六边形排列的投影 5.1.1 石英晶体的压电效应 图5-3 石英晶体的压电机构示意图 a) =0 b) 0 c) 0 5.1.1 石英晶体的压电效应 图5-4 石英晶体切片 5.1.1 石英晶体的压电效应 图5-5 晶片上电荷极性与受力方向的关系 5.1.2 压电陶瓷的压电效应 图5-6 压电陶瓷中的电畴变化示意图 a)极化处理前 b)极化处理过程中 c)极化处理后 5.1.2 压电陶瓷的压电效应 图5-7 陶瓷片内束缚电荷与电极上 5.1.2 压电陶瓷的压电效应 图5-8 正压电效应示意图 5.1.2 压电陶瓷的压电效应 图5-9 逆压电效应示意图 注：实线代表形变前的情况， 虚线代表形变后的情况。 5.2 压电材料 5.2.1 石英晶体 5.2.2 压电陶瓷 5.2.1 石英晶体 图5-10 石英晶体的系数相对于 5.2.1 石英晶体 图5-11 石英晶体在高温下相对介 5.2.2 压电陶瓷 1.钛酸钡压电陶瓷 2.锆钛酸铅系压电陶瓷 1.钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡是由碳酸钡和二氧化钛按1 ∶1摩尔比混 合后充分研磨成形，经高温1300～1400℃烧 结，然后再经人工极化处理得到的压电陶瓷。这 种压电陶瓷具有很高的介电常数和较大的压电系 数(约为石英晶体的50倍)，但不足之处是居里温 度低(120℃)，温度稳定性和