传感器原理与检测技术课件教学配套课件钱显毅第三章电容式传感器.pdfVIP

第3章 电容式传感器 科学技术的不断发展极大地丰富了各类传感 器，以压力测量为例，现今常用的测量压力的传感 器，有电容式、压阻式、金属应变式、霍尔式、振筒 式等，电容式、压阻式、压电式、压磁式，能将多种 信息转化为电信号。 电容结构简单，性能可靠，成本低廉，容易实 现参数改变，可广泛应用于各类物理量的测试。电容 式传感器是以可变参数电容器作为传感元件，待被测 非电量转换为电容量变化，进而转换为电信号输出的 装置。电容测量技术在近几年来有了很大进展，它不 但广泛用于位移、振动、加速度、角度、力、压力、 物料、介质特性等多方面量的精密测量，而且还逐步 地扩大应用于压差、液面、料面、成分含量等方面的 测量。 3.1 电容式传感器的工作原理及结构形式 为了便于研究和应用，先从电容式传感器结构原理最简 单的、应用最多的平板电容式传感器来进行研究。平板 电容式传感器的基本工作原理可以用图3-1所示的平板 电容器来说明。 当忽略边缘效应时，平板 电容器的电容量为 A   A C r 0 d d 式中，A为极板面积；d为极 图3-1 平板电容器  板间的距离； 为极板间介 r 质的相对介电常数； 为真 0 12 空介电常数， =8.85  0 10 F/m； 为极板间介质的介  。 3.1 电容式传感器的工作原理及结构形式 在实际应用中，常使d、A 、 三个参数中的两个保 r 持不变，而改变其中一个参数来使电容量发生变 化。所以，电容式传感器可以分为三种类型：改变 极板距离d的变间隙型、改变极板面积A 的变面积型 和改变介质相对介电常数 的变介电常数型。 r 图3-2所示为一些电容式传感器的原理结构形式。其 中，图3-2a、b为变间隙型电容式传感器；图3-2c~f 为变面积型电容式传感器；图3-2g、h为变介电常数 型电容式传感器。 3.1 电容式传感器的工作原理及结构形式 图3-2 几种不同的电容式传感器的原理结构图 3.1.1 变间隙型电容式传感器 图3-3为变间隙型电容式传感器的原理图。图中，1为固 定极板，2为与被测对象相连的活动极板。当活动极板 因被测参数的改变而引起移动时，两极板间的距离d发 生变化，从而改变了两极板之间的电容量C。 设极板面积为A ，其静 态电容量，当活动极 板移动x后，其电容量 为 x 1 A d C C