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电子工厂化学品供应与回收系统概述 (NEC 201206) 【摘 要】 【关键词】 【中图分类号】X78 【文献标识码】A 【文章编号】1008-1151(2013)04-0067-04 The Overview of Chemical Supply and Recovery System in Electronics Factory 正当形形色色的电子产品席卷全球的时候，我们却不得 化学品供应系统在国外一些企业称为 CDS(Chemical 不关注这些“利器”在生产过程中造成的问题。作为时尚便捷 Dispense System) 或 简 写 为 BCD (Bulk chemical 的电子信息产品，“苹果”对年轻人和精英人士的诱惑是极 distribution)，它是为生产线 24 小时不间断供应化学品的 大的。然而，在供应链环节，“苹果”却是有毒的，因为其零 系统。供应系统供应的化学品一般使用量较大或有多台设备 部件使用一种叫做正己烷的有毒化学品来清洁，光鲜的“苹 使用，属于远距离输送，不适用使用量少或是使用前存放时 [3] 果”也和传统的污染型企业一样，会导致让人头疼的职业病。 间有限制的化学品（通常需用特殊的包装输送到使用点） 。 [1] 由于电子产业的生产需要使用大量的化学品，而这些化学 这些化学品一般输送到黄光、湿法刻蚀、清洗等区域。 化学 品都具有一定危险性，稍有疏忽，就会造成重大的人员伤亡 品供应系统按照化学品的种类可以分成三类 ： 和设备的损失，因此，如何将这些化学品在保证品质的前提 （1）无机酸碱化学品供应系统：这是最主要、化学品种 下安全输送到使用点，如何将这些使用过的化学品合理地回 类最多的系统，负责供应蚀刻和清洗用的酸碱性溶液。无论 收处理，将是电子工厂生产安全的重要问题。由此看来，电 是 LCD 还是芯片厂，对于酸碱类的化学品需求量都比较大， 子工厂中化学品的供应与回收系统之改进、优化仍是值得探 由于酸碱溶液大多具有较强的腐蚀性和毒性，在使用和输送 究的。文献[2]就介绍了在芯片工厂中，应用于化学品供给、 过程中，除了要保证品质外，还要确保存储、输送和使用安 回收系统的 PFA 管道安装工艺。原来国内大规模集成电路生 全。 产线所需的化学品供给、回收系统管道完全由海外公司承揽 （2）有机溶剂供应系统：主要供应易燃性液体，如异丙 施工，随着国内 IC 制造业的发展，国内一流的 IC 工厂建设 醇（IPA）、PGMEA(或简称 PM Thinner，乙酸丙二醇甲醚)、 公司已经开始打破这一局面，涉足该系统的施工，为我国电 剥离液包括N-甲基-吡咯烷酮（N-methyl-pyrrolidone 简称 子行业的自主发展添加了助推剂。 NMP）、二甲基亚砜（Dimethyl sulfoxide简称DMSO）或是乙 本文就新型显示器件厂（简称 LCD）和集成电路芯片厂 醇胺、羟胺乙醇的化合物等，在LCD和芯片厂都是用于清洗、 （简称芯片厂）的化学品供应和回收系统进行在系统类型、 光阻的稀释和剥离。 基本构成、主要安全技术措施等方面进行了较全面的总结， （3）化学研磨液供应系统：是供应将研磨液到 可供系统优化时参考。 CMP(Chemical mechanical Planarization)设备。在芯片