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第36卷，增刊 红外与激光工程 2007年6月 、，b 1．36 Su ppl enl ent I l 瞳6 麓1 1ed and ker En gi ne er i ng J un．20() 7 128 ×128元氮化镓紫外焦平面读出电路的设计与封装研究 袁永刚，刘大福，邱惠国，李向阳 ( 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室，上海200083) 摘要 ：随着GaN基紫外材料的成熟，GaN基紫外探测器迅速发展 ，半导体紫外探测技术成为继 红外和激光探测技术后发展起来的又一新型光 电探测技术。GaN基紫外探测器以其 固有的量子效率 高、可靠性高、使用方便等特点，将在紫外探测、预警、天际及地空通信和紫外弱光成像系统等领 域发挥重要作用。读出电路作为紫外焦平面信号调理与输出部分对紫外焦平面组件性能起至关重要 的作用。封装是通用传感器