有机硅介质光波导技术研究.pdfVIP

维普资讯 目园爵 岛 有机硅介质光波导技术研究 叶晓靖 张小康 (华南理工大学 物理科学与技术学院 广州 510640) 摘要 针对有机硅树脂的材料特性和制作有机硅光 2．2外界条件对有机硅材料折射率影响 波导器件的方法进行探讨。 ◆热光特性 (T0) 有机硅可以在很宽的温度范 关键词 光波导 波导工艺 有机硅 围内使用 ，其化学性能、物理机械性能随温度的变化 中图分类号 TN252 文献标识码 A 很小 ．这与有机硅分子易挠曲的螺旋状结构有关。但 当温度改变时，会产生材料 的折射率变化 ，而导波层 1引言 折射率的变化将使导波光与其他导模耦合。利用这种 光纤近30THz的巨大潜在带宽容量 ，使光纤通信 热光特性可以制作热光开关。例如某甲基苯基硅树脂 成为支撑通信业务量增长最重要的技术 ，但现在传输 的热光系数就可 以达到一3．7×10_4／K。 节点仍然受”电子瓶颈”10Gb／s的限制。考虑到用于光 ◆光折变效应 (PhotorefractiOileffect) 光 互连 ．光学 回路的运算速度比电子回路tg104倍。因 折变效应被定义为由于光学非线性材料受到光辐射 ， 此需要使用与光纤具有同样特征带宽的波导光开关 引起 内部 电荷重新分布 ，形成 内部空间电荷场 ，并通 和集成光路来提升网络节点吞吐量。在所有的介质波 过电光效应引起材料的折射率改变。有机非线性光学 导开关 中聚合物光波导开关具有 良好的热光性能和 材料的光极化源于电子极化。由于 1T电子高度离域 ， 价格低廉的优点，特别是有机硅材料具有的耐热性、 易于极化．材料在 10-12~10 秒 内便可达到电荷平衡 ， 耐湿性特点，因而表现出极大竞争优势。田炳耕等在 因此响应速度快。自上世纪9O年代以来，具有光折变 1972年就用有机化学单体的射频放电聚合方法生成 效应的有机聚合物就不断被报道 ，也有国外实验室致 有机硅薄膜波导，并得到光学损耗O．004dB／cm的光 力于合成具有非线性基团的聚合物。 滑、无针孔薄膜。现今 ，世界上能够大规模生产有机硅 2．3制备工艺 的国家只有美 、日、德 、法及 中国，而随着材料科学的 2．3．1旋涂和浸渍 发展．有机硅的品种已经发展到 2000多种 ，人们对有 人们很早就已经认识到许多清漆 、环氧树脂等都 机硅材料的制备、成形技术 的认识也进一步加深。在 能够淀积在玻璃衬底上形成平板波导，该方法的最大 光波导器件的制备上大量引入有机硅产品，势必推动 优点是能够快速制膜，并且在膜中掺杂。Ulrich，Weber 光通信事业的加速发展。 在 1972年就报道将环氧树脂材料覆盖在载波片上形 成的薄膜中测得的损耗为0．3dB／cm，但薄膜的厚度无 2有机硅材料特性 法精确控制。 2．1基团对有机硅物理特性的影响 半导体工业 中很久 以前就使用光刻胶在甩胶台 作为聚合物 ，硅树脂的基团同样会对其物理特性 上甩膜 (spincoating)形成绝缘薄膜。这种方法能够有 产生一定的影响，由于具有上千品种 ，选择不同的材 效地填补衬底的台阶面 ，使薄膜表面平坦化 ，(图 1是 料必定关系到对生产过程的工艺要求 。 用旋涂法制作的硅树脂平