NO9.3 电荷耦合器件.docVIP

第九章 几种新型传感器简介 第三讲 电荷耦合器件（CCD） 教学目的要求：1.了解CCD的结构原理。 2.了解CCD的应用 教学重点：CCD的结构原理和CCD的应用 教学难点：CCD的结构原理 教学学时：2学时 教学内容： 一、CCD的工作原理 （a）MOS光敏元结构 (b)光生电子 图9-26 CCD单元结构 1．工作原理 组成CCD的基本单元是MOS光敏元，如图9-26（a）所示。在图9-26中，金属电极为栅极。SiO2氧化层为电介质，下极板为P- Si半导体。当栅极加上正向电压，并且衬底接地时，在电场力作用下，靠近氧化层的P型硅区的空穴被排斥，或者说被“耗尽”，形成一个耗尽区，它对带负电的电子而言是一个势能很低的区域，称之为“势阱”，这种状态是瞬时的。如果此时有光照射在硅片上，在光子作用下，半导体硅产生电子—空穴对，由此产生的光生电子被附近的势阱所吸收，形成电荷包。而空穴则被电场排斥出耗尽区，该状态是稳定的。图9-26（a）为已存储信号电荷—光生电子的形象示意图。实际上，电荷存在于SiO2—Si 界面处，而非从所谓势阱底向上堆积。势阱内所吸收的光生电子数量与入射到该势阱附近的光强成正比。这样一个MOS光敏元叫做一个像素，用来收集若干光生电荷的一个势阱叫做一个电荷包。在同