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電子束微影術製作高頻表面聲波元件 指導教授：中興大學物理系 孫允武博士 彰化師大物理系 吳仲卿博士 學生：歐俊裕 目錄 摘要……………………………………………………………………………………2 簡介……………………………………………………………………………………3 實驗原理………………………………………………………………………………6 第一節 表面聲波元件………………………………………………………………6 1.1表面聲波…………………………………………………………...6 1.2 表面聲波元件……………………………………………………..6 第二節 電子束微影術………………………………………………………………7 2.1微影技術…………………………………………………………...7 2.2 電子束微影術………………………………………………...…...8 製程及實驗步驟……………………………………………………………..………11 第一節 圖形繪製……………………………………………………………..11 第二節LiNBO3基版之SAW元件製作…………………………………………..12