金属镀层膜厚量值溯源方法地研究.pdfVIP

第27卷第3A期 计 量 学 报 V01． 27． №3A 2006年9月 A(XAMEIROIDGICASIMCA September，2006 金属镀层膜厚量值溯源方法的研究 朱小平， 王蔚晨， 杜 华， 叶孝佑 (中国计量科学研究院，北京100013) 摘要：对金属镀层膜厚的不同测量方法进行了比较分析，提出通过设计台阶镀层和测量台阶高度的方法，实现 镀层量值的直接溯源，并与x荧光分析测量法进行大量的比对测量试验，验证台阶镀层测量方法的正确性。 关键词：计量学；镀层厚度；X荧光；台阶高度；溯源 中图分类号：唧 文献标识码：A 文章编号：1000—1158(2006)3A．0186．03 Researchof forPlatedThicknessMeasurement Traceability ZHU WANG YE Xiao-ping， Wei—chen，DUHua， Xiao—you of (NationalInstitute 100013，China) Metrology，Beijing to and ofthe thickness methodof Abstract：Accordingcomparisonanalysis plated measuringmethods，anove]measuring thicknesswith is much is thatthe data，it plated stepheightdeveloped．Fromcomparingmeasuring proved stepheightplated thicknessmeasuredmechanicalmethodisreliableandaccurate． by scanning Keywords：Metrology；Hatedthickness；X-rayfluorescence；Stepheight；Traceability 一的x荧光测厚仪制造商，校准仪器用的标准片也 1 引 言 购自国外。 在国外，大多厂家建立了自己的镀层膜厚量值 镀层膜厚的测量与控制是关系到产品质量的关 溯源系统，如美国、日本、德国等，也是x荧光测厚 键环节，广泛应用在机械、电子、航空航天、珠宝首 仪的主要生产制造者，它们均采用称重法进行这类 饰、电镀行业等许多部门和领域。近年来，国内通讯 膜厚量值的溯源，是一种间接的测量方法。 及电子行业的快速发展，特别是沿海发达地区，按照 ISO认证体系的要求，对产品的质量保证体系提出 2 覆盖层厚度测量方法比较 了一系列严格要求，金属镀层厚度几乎均采用x荧 光测厚仪进行测量，因而，x荧光测厚仪作为企业镀 2．1称重法 层的标准仪器，如何对x荧光测厚仪的膜厚量值进 称重法¨1的基本原理是：对于某种均匀覆盖层 行溯源成为关键。 (镀层)，测量单位体积(面积)上质量m，根据材料 在国内，镀层膜厚的量值处于