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莫尔条纹的特点 放大作用 莫尔条纹纹距B 与光栅节距w和倾角θ之间的关系： 光栅横向移动一个节距w ，莫尔条纹正好沿刻线上下移动一个节距B，用光电元件检测莫尔条纹信号的变化就可以测量光栅的位移。 例：当 w = 0.01mm， θ= 0.01 red， 则 B = 1mm，将栅距放大100倍的莫尔条纹宽度。 由于θ很小，因此 2 2sin / q w = B q w ≈ B 5. 3 光栅测量原理 光栅尺横向莫尔条纹及其参数 2 2sin / q w = B B 2B 5. 3 光栅测量原理 均化误差作用 莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成的，栅距之间的相邻误差被均化。短光栅的工作长度愈长,这一均化误差的作用愈显著。 根据莫尔条纹的移动与栅距移动的对应关系 逆时针方向 选择(＋θ) 顺时针方向 选择(－θ) 左 下 上 右 上 下 光栅移 动方向 莫尔条纹 移动方向 θ角的旋 转方向 5. 3 光栅测量原理 (3) 辨向 为了辨别运动方向，需配置两个彼此错开1/4纹距的光电元件，使输出电信号彼此在相位上差90°，若以其中的一个作为参考信号，则另一个信号将超前或滞后参考信号90°，由此来确定运动方向。 (4) 倍频 倍频又称为细分，倍频数就是指在莫尔条纹一个周期的范围内，等距离安装的感光元件的数目，从而在一个周期内产生若干个脉冲，达到细分的目的。 提高倍频数可以提高光栅的最小读数值，提高分辨率，精密机床的测量常采用高倍频。 例：栅距 w = 0. 1mm， 十倍频后，最小读数值0.01mm. 第二节 检测装置 四倍频电路 5. 3 光栅测量原理 (5) 特点 优点： 1）精度高 测直线：精度 0.5-3um，分辨率 0.1um 2）易实现动态测量和自动化测量 3）较强的抗干扰能力 缺点： 1）对环境要求高，怕振动，怕油污 2）高精度光栅制作成本高 1Vpp信号 TTL信号 BiSS 串行数字接口 增量式光栅： 绝对式光栅： EnDat串行数字接口 HEIDENHAIN 5. 3 光栅测量原理 * 5. 1 概述 5. 2 脉冲编码器的测量原理 5. 3 光栅测量原理 5. 4 激光测量原理 5. 5 旋转变压器的原理 1. 激光特性 5. 4 激光测量原理 激光波长很短，而且相对比较稳定。可以满足高精度测量的要求。 雷尼绍XL-80激光干涉仪所用激光波长为633nm。 激光具有良好的相干性。 如果两束光相位相同，则光波会叠加增强，表现为亮条纹； 如果两束光相位相反，则光波会相互抵消，表现为暗条纹。 2. 激光干涉测量原理 激光器 S1 S2 S S S2 S1 移动一个波长λ，光强变化一个周期 5. 4 激光测量原理 产生明暗相间的条纹 移动一个波长λ，光强变化一个周期 5. 4 激光测量原理 迈克尔逊激光干涉仪 5. 4 激光测量原理 单频激光干涉仪对周围环境要求较高，要求环境温度、湿度、气压都比较稳定；否则其变化导致的空气湍流会引起直流电平变化而影响测量精度。 双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上；因此对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，抗干扰能力强。 塞曼激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。 双频激光干涉仪 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 数字 显示 当量 有理 化 同步 相减 整形 处理 N S f1 f2 入/4 滤片 f2 f1 f2 f1 f2 f1 f1 f2 f1 f2 入/4 D 1 D 2 赛 曼 激光器 每移动一个波长 倍频细分电路 5. 4 激光测量原理 * 5. 1 传感器的信号特征 5. 2 脉冲编码器的测量原理 5. 3 光栅测量原理 5. 4 激光测量原理 5. 5 旋转变压器的原理 旋转变压器是一种角度测量装置。 1．旋转变压器的结构 在结构上与两相绕线式异步电动机相似，由定子和转子组成。 定子绕组为变压器的一次绕组 转子绕组为变压器的二次绕组。 根据转子绕组两种不同的引出方式旋转变压器分 有刷式 无刷式 5. 5 旋转变压器的原理 旋转变压器的内部结构图 第二节 检测装置 根据互感原理工作的，定子绕组加上励磁电压，通过电磁耦合，转子绕组产生感应电动势。 输出感应电动势大小与转子位置有关，