机构、驱动、检测一体化纳米级微动机器人系统地研究.pdfVIP

7期 机器入 ROBOT 第200202年卷第8 Vo舢1．292．，．N2。oj。7 文章编号：1002—0446(2000)07—0529—04 机构、驱动、检测一体化纳米级微动机器人系统的研究 孙立宁 张 涛 曲东升 刘品宽 蔡鹤皋 (暗尔滨工业大学机器人研究所暗尔滨150001) 摘要：具有纳米级定位精度的微动机器人系统的研究一直是国内外的研究热点之一，机构、驱 动、检测一体化的设计方法是实现机构紧凑的纳米级定位系统的有效方法．本文对这一设计方法的原 理、关键问题及实现方法进行了监细的论述，并给出了样机图片和实验结果． 美键词：馓动机器人；一体化r纳米级 、 7 中圈分类号：厅琵4、 文献标识码：B 1引言 随着纳米技术的迅猛发展，具有纳米级定位精度的微动机器人及微定位系统的研究日益受到重视，它是 微加工技术、生物细胞操作技术、微型外科手术及纳米测量等高技术领域的关键设备．本文提出的机构、驱动