基于LCC级联叠加模块化高压脉冲电源设计.pdfVIP

中国电源学会第二十届学术年会论文集 基于LCC的级联叠加模块化高压脉冲电源设计 1 2 1 1 张亚超 ，骆志伟 ，王德玉 ，孙孝峰 （1. 燕山大学电力电子节能与传动控制河北省重点实验室，秦皇岛 066000 ；2. 北京航天发射技术 研究所，北京 100076 ） wdy@ysu.edu.cn 摘 要 第三代全方位离子注人与沉积技术（HL-PIII 技术）是目前一种新的、高性能的材料表面改性技 术。HL-PIII 技术实现的核心设备是高压脉冲放电电源。本文以HL-PIII 技术中高压脉冲放电电源作为研究对 象，设计了一台以LCC 高频谐振变换器作为充电器、以级联叠加模块化方式输出幅值为3kV、放电频率10kHz、 放电脉宽为 30us、脉冲上升时间小于30ns、脉冲顶降为小于5%的脉冲电源。该电源的特点在于输出电压可 以灵活配置、各个充放电模块驱动完全自供电。通过在纯阻性负载上的实验表明，该电源的输出技术指标达 到了设计要求。 关键词 HL-PIII ，LCC ，模块化，驱动自供电 1 引言 第三代全方位离子注人与沉积技术（HL-PIII技术）是目前一种新的、高性能的材料表面改性 技术。该技术克服了表面涂敷技术膜层易脱落、束线离子注入技术不能处理复杂工件、传统PIII技 术注入元素单一、改性膜薄和不均匀等缺点，能够执行多种综合性表面改性工艺，因此具有广阔的 应用前景[1-5] 。HL-PIII技术实现的核心设备是高压脉冲放电电源，该电源不仅能使待注入的离子注 入零件的表面，达到表面改性的目的，还影响着改性膜层的均匀性。因此对HL-PIII技术中的脉冲 放电电源的开发和特性研究至关重要[6-7] 。 本文以HL-PIII技术中高压脉冲放电电源作为研究对象，以高性能的充电器和模块化的高压斩 波放电电路作为设计核心，设计一台高压脉冲电源样机，其指标如下所示： （1）输入直流电压Vin=220V/DC ； （2 ）输出的脉冲电压幅值Vo=3kV ； （3 ）平均功率Po=560W ； （4 ）放电频率f rep=10kHz ； （5 ）放电脉宽30us； （6 ）脉冲上升时间30ns ； 7 5% （）输出脉冲电压顶降 。 2 模块化高压脉冲电源系统结构 本文研究设计了以LCC 高频谐振变换器作为充电器、以级联叠加模块化方式输出幅值为3kV、 放电频率10kHz、放电脉宽为30us、脉冲上升时间20ns、脉冲顶降为3.3%的脉冲电源。该电源的 结构如下图1 所示，由LCC 逆变电源，3 个高压充放电斩波模块组成，每个模块承担1kV 的电压， 通过3 级级联叠加的方式来达到3kV 的高压脉冲输出。此结构合理使用了LCC 逆变器的抗负载剧 烈变化特性和高频变压器的寄生参数。可以灵活配置输出电压等级。该结构要求各模块高频变压器 原边均压效果好，放电触发开关同步。 河北省重点实验室开放项目：DLDZ201103 · 1068 · 中国电源学会第二十届学术年会论文集 图1 模块化高压脉冲电源结构 3 LCC 高频谐振变换器 LCC 2 本文选择基于 高频谐振拓扑的充电电源，如图 所示。首先，此电路合理利用了高频变 压器漏感和寄生电容，使逆变开关管工作在软开关状态，能够有效提高系统效率[8] LCC