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第七次华北五省市电子显微学研讨会及第九届全国实验室协作服务交流会 EDS相分析算法的探讨 姚诽李轩刘立涛李朝玲戚文 (1．天津大学分析测试中心，2．天津大学材料学院) 摘要：介绍了相似系统理论评价系统相似度的基本要素和求解系统相似度的算法模型，以X 射线能谱为例，给出2张能谱图的数量相似度、程度相似度和系统相似度的求解方法和基于 此的相分析原理，提出理解、使用EDS相分析软件的思路。 关键词：相似系统理论；相似度；EDS相分析 相似系统理论认为，两个系统的相似度决定于各系统的组成要素及其特征，可具体表述 为相似要素的数量及其相似程度的函数，(1)式为两系统相似度的函数表达式， Q=f(K，L，，2，“) (1) 其中，K和L分别表示两个系统各自组成要素的数量，n表示在组成要素中相似要素的数 量，u表示相似要素的相似程度。在系统要素一定的条件下，对于系统相似度优劣的评价， 既要看相似要素的多少(即n的大小)，也要看每一相似要素的相似程度。 由相似要素的数量确定的相似度为数量相似度!记为Q。。。假设系统A由K个要素(a-，a。， a。，…at，…at，)组成，系统B由L个要素(b。，b。，b。，…bj，…b。，)组成，两个系统的相似 要素有n个时，参照数值分类学中Jaccad和Sneath相似系数u’引，数量相似度Q。由(2)式表达， Q=矗≥ (2) 在系统A和B的n个相似要素中，对应的相似要素组成相似元UmUlj=f(a。，bj)，这些相似元的 值叠加构成程度相似度Q。如(3)式， Q2吉酗 @) 由于每个相似要素有多个特征值，所以u。j以及(3)式中的函数形式要根据具体情况来 确定。 对于x射线能谱，在噪声水平一定的条件下，每一张谱图都可以看成由一定数量的特征X 射线谱峰组成的系统。在A、B两张能谱图中，特征能量相等的谱峰可以作为相似要素，峰面 积或峰高可以看作相似要素的特征值。这里我们把峰面积或峰高当作系统相似要素的唯一特 征值，相似要素成对依次比较，所以可以比较容易地得到相似元ut，和程度相似度Q。的函数表 达式。以a；／b。表示相似要素的相似程度，其中a。为A谱图中第i个峰的峰面积或峰高，bi为B 谱中与a；构成同一对相似要素的峰面积或峰高，比值a；／b；越接近于1，两者的相似程度越高， 10 第七次华北五省市电子显微学研讨会及第九届全国实验室协作服务交流会 贝lJl-ai／b；表示相似要素a；和bt的差异。因为卜ai／bt有可能是负数，将其变换成卜min(at， 的，然后求和，即用∑[卜min(a。，b；)／max(a。，b；)]来表示两个系统(谱图)整体的差异， 1减去平均差异，就得到了系统(谱图)的程度相似度Q。如(4)式， (4) O“_1一吉善【1-而min(ai,b训。)] 系统间相似度可以表示为Q。和Q。的乘积，被称为乘积相似度，记为Q。： Q。=Q。×Q。 (5) 系统间相似度也可以表示为Q。和Q。的平均值，被称为平均相似度，记为Q2： Q：=(Qo+Q。)／2 (6) 能谱仪在对谱分布做相信息提取或做实时相分布时，可根据两个像素点的能谱图的共有 峰与非共有峰的数目，由公式(2)得到两张谱图的数量相似度：根据图谱共有峰的面积或 强度，按照公式(4)可以计算两张谱图的程度相似度；按照公式(5)或公式(6)计算它们的整 体相似度。 当两张谱图的整体相似度超过设定的阈值时，将对应的两个像素视为来自同一相，否则 视为来自不同相。这就是依据能谱图的相似度来进行相分析的数学依据。 比较常用的谱图相似度的算法除本文介绍的程度相似度法之外，还有相关系数法“J21和 夹角余弦法H·引，它们对谱图相似元素(谱峰)的