多脉冲激光作用下光学薄膜损伤的累积效应.pdfVIP

第 35卷第 6期 光 子 学 报 Vo1．35No．6 2006年 6月 ACTA PH0TONICA SINICA June2006 多脉冲激光作用下光学薄膜损伤的累积效应 王 涛 赵元安 ’ 黄建兵 ， 贺洪波 邵建达 范正修 (1中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研发中心，上海 201800) (2中国科学院研究生院，北京 100039) 摘 要 研究了高反射膜在多脉冲激光作用下损伤的累积效应．实验中使用1064nm调Q的Nd； YAG激光器，脉宽是 12ns，频率为 10Hz．实验发现：高反射膜的损伤 阈值 随辐照脉冲数增加而降 低 ，表现 出明显的累积效应 ．通过对损伤阈值和损伤概率以及辐照次数 的统计性研究，并结合单脉 冲辐照的结果，说明了存在于薄膜中微小的缺陷参与了多脉冲激光对薄膜的损伤过程，得到了制备 IBS高反射膜的损伤闽值和照射次数的关系式，用Nomarski偏光显微镜观察了实验过程 中样品的 损伤形貌 ，发现是典型的缺 陷损伤 ． 关键词 TaO ／SiO 介质反射膜；累积效应 ；单脉冲；多脉冲 ；损伤 闽值 中图分类号 0484．4 文献标识码 A 一 个可旋转的半波片和一个偏振片组成 ．通过旋转 0 引言 半波片来调整入射到样品表面的激光的能量 ．用能 在多脉冲激光辐照下，光学薄膜的抗激光损伤 量计来记录每一个人射到样 品的激光能量 ．He-Ne 强度要 比在单脉冲激光照射时下降很多_1叫]，由于 激光器用来准直和帮助对损伤过程的实时监测 ．一 光学薄膜是激光器 中必不可少且最容易损伤的元 个包含数字图像处理的光学显微镜用来保证精确 件 ，因此这一性质严重限制了高功率激光器的发展． 的、实时的监测 ．测试点被照射前后的显微 图像被 尽管对这一问题 已经进行了多年的研究_5]，但是 保存并 比较 以保证一个正确的是否损伤的判断 ． 至今仍然没有合理的解释和对这种机制的完全理解． 1．2 样品制备和损伤测试程序 本文在对重复率激光对高反膜的损伤实时监测的基 样品为离子束溅射 (IBS)方法制备的高质量的 础上，对损伤阈值和照射脉冲激光数 目的的关系进 高反射膜 ．高、低折射率材料分别 为 Ta。Os和 行了统计分析研究，并提出了可能的损伤机制 ． SiO2． 测试方式为 S-ON 1，即是用一定数 目的同样能 1 实验 量的入射光照射每个点，每个点相互隔开 以免互相 1．1 实验装置 影响；并且当损伤已经发生时，将马上对下一点进行 实 验 装 置 如 图 1，所 用 的激 光器 为 基模 测试 ，以避免损失的进一步扩大 ．每一个 固定能量 (TEMo。)调QNd：YAG激光器 ，输出波长为 1064nm， 的入射光照射 1O个点 ．因而，每个能量激光辐照损 脉冲宽度为 12ns，频率为 10Hz．样 品被放置在一 伤概率 p—n／lO，为 1O个点中损伤的点的数 目． 个 由步进 电机驱动的二维平台上 ．能量衰减系统由 2 实验结果 Hc-Nolaser 2．1 阈值结果