半导体清洗用超纯水设备的工艺流程.docVIP

半导体清洗用超纯水设备的工艺流程.doc

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半导体清洗用超纯水设备的工艺流程近年来,我国科学技术飞速发展,电子行业占主要部分,在电子行业中,半导体同样占着重要位置,半导体清洗用超纯水设备出水水质稳定并且设备运行可靠。   半导体清洗用超纯水设备的工艺说明   半导体清洗用超纯水的水质也要有严格要求,设备可以稳定运行。原水经过原水泵的加压,使水进入一级预处理系统中,来去除水中的铁锈等有机物质,接下来进入二级预处理设备中,来去除余氯有一些色度,接下来再经过第三级预处理,来对水的硬度进行去除,保安过滤器再次对水进行净化处理,再经过反渗透和EDI来去除水中多余的杂质,最后经过微孔过滤器来对水进行深度处理。使水达到用水要求。   半导体行业用超纯水的标准   半导体行业要遵循我国电子工业的相关标准,并且还要达到一些国外的水质标准等。目前,很多水处理厂商都未能达到标准,我公司超纯水设备出水水质均可达到这些标准,并且水质稳定,不会造成二次污染等。   半导体清洗用超纯水设备采用最新工艺,可实现无人看守等特点,设备占地面积小,自动化程度高,并且水质稳定,最高可达18.2兆,并且超纯水设备的废水回收率高,可达80%到90%以上。

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