SAW氢传感器的研究进展.pdfVIP

( ) 　2007年 第 26卷 第 3期 　　　　　　　传感器与微系统 Tran sducer and M icro system Technologie s 1 综述与评论 SAW 氢传感器的研究进展 1 1 1 2 周俊静 , 殷晨波 , 涂善东 , D an iel Sonn leithner ( 1. 南京工业大学 机械与动力工程学院 ,江苏 南京 210009; 2. 卡尔斯鲁厄大学 ,德国 卡尔斯鲁厄 76128) ( ) 摘 　要 : 对声表面波 SAW 氢传感器的研究 目前主要集中在改善其敏感性 、加快响应速度 、增强稳定性 以及消除温度的影响 。要实现这些 目标 ,一是改善 SAW 氢传感器的关键部件 ——敏感薄膜的性能 ;二是改 进传感器的结构 。对主要研究机构在这些方面的研究进行了系统的综述 ,并提出了发展方向。 关键词 : 声表面波 ; 氢传感器 ; 钯膜 中图分类号 : TP2 12　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1000 - 9787 (2007) 03 - 0001 - 03 Progress of SAW hydrogen sen sor 1 1 1 2 ZHOU Junj ing , Y IN Chenbo , TU Shandong , D an iel Sonn leithner ( 1. School of M echan ica l and Power Eng in eer in g, Nanj ing Un iversity of Techn ology, Nanj ing 210009, Ch ina; 2. Un iversity of Karlsruhe, Karlsruhe 76128, Germ any) A b stract: The research on surface acou stic wave ( SAW ) hydrogen sen sor is m ain ly focu sed on its sen sitivity, re spon se tim e, endu rance, tim e stab ility and how to elim inate the affection of temp erature. One m ethod to realize the se is to imp rove the p erform ance of the sen sitive film , and the other is to change the structure of the sen sor. The p rogress of the research is overviewed, and the p ro sp ect is p redicted. Key word s: surface acou stic wave ( SAW ) ; hydrogen sen