宽带微波MEMS开关.pdfVIP

下载本文档

9
0
约7.24千字
约 4页
2017-08-12 发布于安徽
举报
版权申诉

宽带微波MEMS开关.pdf

1、本文档共4页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

宽带微波MEMS开关朱健林立强林金庭吴汉俊陈新宇 (南京电子器件研究所，南京．210016) 摘要本文论述了微波MEMS开关的设计和制造工艺。开关为～薄金属膜桥组成的桥式结构，形成一个SPST并联设置的金属．绝缘体．金属接触。开关通过上F电极之间的静电力进行控 1．14GHz 制，其插入损耗及隔离性能取决丁开态和芙态的电容。微波MEMS开关在“开”态F 夫于13dB。在18-20GHz时隔离人于16dB。关键词微电子机械系统微波开关 WidebandMicrowave MEMSSwitch Zhu Lifl Lin Wu Chert jian 1iqiangJintingHanjun xinyu E1ectranicDev】CeS (Nanjing lnstitute，Nanjing．210016) Abstract ThedesiznandfabricatiOffofawidebandmicrowaveMEMSSWitchiSdescrjbed．The of elementcansistsa thiflmetalliCmembrane．whichhasthemetal— SWitching isolator—metalcontactwitha shunt asSPST．WhenanelectrustatiC smitch eapacitive iS the to membraneandthe attractive potential bettom applied electrode，the the electrostatiCforceDu儿s metalmembranedown thebuttomdielectricTheSWitch onto characteristiCSof lOSSand Lance insertiOffiSOlatiOilare ontheoffandOffeapaci depended The testresultS asfollOWS：insertionIOSSoftheswitchiSleSSthan0．72dBat卜 14GHzand 1．18dBat i of iS at 18—20GHz．theSOlatjontheSWjtchmorethan13dg14一J8GHz and16dBat18—2011Hz． MEMS Mi Keywords WidebanderowaveSwitch 一引言 MEI¨S开关与FET或PIN二极管开关相比．其优点是：①消除了由欧姆接触引起的微波损耗，取而代之的高导率的金属结构可以超低损耗传输RF信号。②消除了由半导体结引起的I—v非线性，可极大地改善了失真特性(无谐波或调谐失真)．提高电源控制能力。③是可以I。作于极宽的频带。因此，ME惦开关特别适刚