类金刚石碳膜的纳米划擦行为及其加载卸载效应.pdfVIP

蒡 37卷 第 12期 仓 扇 学 歧 V0l37 NOl2 2001年 12 月 ACTA METALL RGICA SINICA December200 l 类金刚石碳膜的纳米划擦行为及其加载 卸载效应 黄立业 一 徐可为 i 吕 坚 1)西安交通大学材蚪研 中 怠璃 料强度国家重点蛮验空 西安 710049 2)Troyes技术大学机械系统并行 1．程实验空．法习 rroyes10010 摘 要 司射翱等离于体增强化学气相 片江仨l硅片E 缶r粪 刚 醚膊．利用纳米止^ 的蜘痕附件研究-薄穗帕纳米 擦行为 结果表明 在划撺过程中．随载 增加 1 萤光后经历弹性变彤、棹颦生_{形 Ⅱ戴斗f裂技卸裁剥高一个阶段 耳l畦续加 载直至薄膜÷f裂 过程中薄唯未发生剥落 捆墩 后薄 与毕恤蛮形恢复 、 发生薄膜_L^基咋 l瑚 l邑f￡剥落 纳米划擦实验不仅 能在n羲 段鞭得表{正薄膜 爱强度的临竿}薮荷 E能掩 卸数 枉中薄膜耐着抗力盲关的临界裁 ，是评伊类 薄膜铷捧 抗力的有效f段之 关键词 樊 刚石薄疃，纳米压^，纳夹划痕 中图法分类号 0484 文献标识码 A 文章编号 0412~1961(2001)12—124704 NANo SCR舡 ICH BEHAVIoRS oF DIAM oND LIKE CARB0N FILM S DURING L0AD ING UNL0AD ING PR0CESSES HUANGLiye1 xUKewein LU Yiarfl1 1)stat K LaboratoryforM~hanica／BehaviorofMaterials，t~．-searchCenterofMaterialslXi；ttdi~tongUniversity X 】。an7l0049 21(LASMIS)，UnhersityofTechnologydeiroyes，Troyes100l0France Correspondent： uKeweiJprofessorJ孔f(029)2668614，Faa：： 29)3237910~E—mail： 蜘营 tueduCYt M anuscriptreceived2001q34—10 inrevised for131200108—10 ABSTRACT Nano~scratchbehaviorsofdimnond likecarbon fDLC1fihnspreparedon SiSUb— stratebyrfPEcVDwereevaluatedusingaNaYloIndenter@XPsystemwithattachmentoflateral forcellleasurement(LFM)ItW8．Sfoundthatelasticrecovery,elastio=plasticallydefornlng cracking underloadinganddelaminatingunderunloadingofthefilm OCCUrsuccessively,withtheincreaseof scratchingload ThoughtheDLC film hasnotbeendelaminatedascontinuousloadinguntilcracking offilm (cr~ckingresistanceLc，)，thefihnv~asdelaminatedfronlthesubstrateafterunloading．due toasynchronousrecoveryofthefilnlandSUbstrate ItiSevidentthatnan0—scra[chingtestnotonly displaysthecrackingresistancechmacteringthecohesionstrength of