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光器件 中文核心期刊 光开关主流技术 陈希明，周 平 重庆邮电学院 光电工程学院 重庆 ( , 400065) 摘 要：光开关是光网络中完成全光交换的核心器件， 关主要采用硅微加工技术将开关集成在单片硅基底 它的研究日益成为全光通信领域关注的焦点。文章重 上并能构成大规模矩阵阵列 另外 此类开关批量生 。 , 点介绍了光开关在全光网络中的应用、MEMS光开关和 产时成本较低 在开关损耗 串扰 消光比 开关尺寸 , 、 、 、 热光开关的基本工作原理及两种光开关技术的进展， 等性能方面优势明显,是光开关的较佳选择。 并就其他光开关作了简要介绍。 2.1微电子机械系统 (MEMS-micro-electro-me- 关键词：全光网络；光开关；光通信 chanical-systems) 中图分类号 文献标志码 是通过微制造技术将微型机械元件 微型 : : 、 TN929.11 A MEMS 传感器 微型执行器和信号处理及控制电路等在普通 、 硅基底上集成 我国的 研究始于 年 经过 1前言 。 MEMS 1989 , 十几年的发展 在多种微型传感器 微执行器和若干 全光网络是指上 下载的业务信号及交换过程均 , 、 、 微系统样机等方面已有一定的基础和技术储备 开发 以光波的形式进行 没有任何的光电及电光转换 全 , , , , [12] 出了若干小批量 多品种 高质量的 器件和系 部过程都在光域范围内完成 。光开关是按一定要求 、 、 MEMS [9] 统 目前已广泛应用于工业领域 而 光开关是 将一个光通道的光信号转换到另一个光通道的器件。 , 。 MEMS 光开关可使光路之间进行直接交换 是光网络中完成 基于半导体微细加工技术构筑在半导体基片上的微 , 镜阵列 即将电 机械和光集成为一块芯片 能透明地 全光交换的核心器件 随着全光网络市场的扩大 光