传感器和检测技术第06章.ppt

第06章 压电式传感器 6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 等效电路 6.4 测量电路 6.5 压电式传感器的应用举例 6.6 影响压电式传感器精度的因素分析 压电式传感器的工作原理是基于压电材料的压电效应。 电式传感器是一种有源的双向机电传感器。 石英晶体的压电效应早在1680年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器。 优点： 压电式传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量轻等 应用： 由于与之配套的二次仪表以及低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电传感器的使用更为方便。因此，在工程力学、生物医学、石油勘探、声波测井、电声学等许多技术领域中获得了广泛的应用。 由于压电晶体的各向异性，并不是所有的压电晶体都能在这几种变形状态下产生压电效应。例如石英晶体就没有体积变形压电效应。但它具有良好的厚度变形和长度变形压电效应。 6.1.1 石英晶体的压电效应 石英晶体的压电效应情况： ①无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间呈线性关系； ②晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ③石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的，例如Z轴就无压电效应。 6.1.2 压电陶瓷的压电效应 6.1.3 高分子材料的压电效应 6.1.4 压电方程与压电常数 6.2 压电材料 选用合适的压电材料是设计高性能传感器的关键。一般应考虑以下五个方面： ① 转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数； ② 机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高、机械刚度大。以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率； ③ 电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期望减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性； ④ 温度和湿度稳定性要好：具有较高的居里点、以期望得到宽的工作温度范围； ⑤ 时间稳定性：压电特性不随时间蜕变。 以下是几种常见的压电材料 ： 1 石英晶体 石英（SiO2）是一种具有良好压电特性的压电晶体。其介电常数和压电系数的温度稳定性相当好；石英晶体的突出优点是性能非常稳定，机械强度高，绝缘性能也相当好。但石英材料价格昂贵，且压电系数比压电陶瓷低得多。因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。 2、? 钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡（BaTiO3）是由碳酸钡（BaCO3）和二氧化钛（TiO2）按1：1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 它具有很高的介电常数和较大的压电系数（约为石英晶体的50倍）。不足之处是居里温度低（120℃），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。 3? 锆钛酸铅系压电陶瓷（PZT） 锆钛酸铅是由PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb（Zr、Ti）O3。它与钛酸钡相比，压电系数更大，居里温度在300℃以上，各项机电参数受温度影响小，时间稳定性好。此外，在锆钛酸中添加一种或两种其它微量元素（如铌、锑、锡、锰、钨等）还可以获得不同性能的PZT材料。因此锆钛酸铅系压电陶瓷是目前压电式传感器中应用最广泛的压电材料。 6.3 等效电路 压电式传感器对被测量的变化是通过其压电元件产生电荷量的大小来反映的，因此它相当于一个电荷源。 而压电元件电极表面聚集电荷时，它又相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容量为： 当压电元件受外力作用时，两表面产生等量的正、负电荷Q，压电元件的开路电压(认为其负载电阻为无穷大?)U为： 6.4 测量电路 根据压电元件的工作原理及上节所述两种等效电路，与压电元件配套的测量电路的前置放大器也有两种形式： 电压放大器：其输出电压与输入电压(压电元件的输出电压)成正比。 电荷放大器：其输出电压与输入电荷成正比。 6.5 压电式传感器的应用举例 压电元件是一种典型的力敏感元件。可用来测量最终能转换为力的多种物理量。 在检测技术中，常用来测量力和加速度。 需要指出： 电压放大测量电路：连接电线不宜太长，而且不能随意更换电缆。微型、集成技术的发展有利于克服该缺点。 电荷放大测量电路：虽允许使用很长的电缆，且电容Cc变化不影响灵敏度，但成本高电路复杂，调整较困难。 6.6 影响压电式传感器精度的因素分析 6.6.1非线性