辉光深度定量分析模型中的缺陷和解决方法.pdfVIP

冶金分析 ，2015，35(1)：i-5 MetallurgicalAnalysis，2015，35(1)：1-5 辉光深度定量分析模型中的缺陷和解决方法 余卫华 ，李江文，于录军 ，张穗忠 (武钢研究院，湖北武汉 430O80) 摘 要：辉光放 电发射光谱分析是一个十分有用的表面分析技术 。利用溅射率模型，能建立一 个涵盖基体和涂镀层中主元素含量变化的宽浓度范围的工作 曲线，通过工作 曲线，直接得到的 强度一时间谱 图可以转换为含量一深度谱 图。在这个过程 中，需要计算每个溅射层的密度数据， 而每一层的密度不能准确计算是该模型的一个缺 陷。化合物 中元素 电负性决定 了键 的性质， 进而决定 了原子间距 ，而原子 间距是进行密度理论计算的关键点。为 了方便密度的理论计算， 将物质分类建立密度计算模型。对于合金层 ，将原子认为是密集堆积来计算其密度；对于单质 和单一的化合物 ，可以直接调用数据库 中的密度数据；对于合金和化合物的混合，用合金原子