PTB220气压传感器在测量大气压力中的应用.pdfVIP

维普资讯 现代计量仪器与技术 I技术篇 PTB220气压传感器 在测量大气压力中的应用 口党选发 李晓峰 一 、 工作原理 接压 PTB220感应元件采用VISALA研制 的硅 电容绝对 压力传感器BAROCAP，是通过硅微加工而成 。PTB220 的工作原理是基于一个先进 的RC振荡 电路和三个参考 电容 ，并且电容压力传感器及 电容温度传感器连续测 量 ，微处理器 自动进行压力线性补偿及温度补偿。当得 到压力变化时，硅薄膜弯曲使传感器真空室高度发生变 图1 PTB220与计算机串口连接示