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电阻应变片的工作原理 电阻应变元件的工作原理 的电阻丝，其电阻初值R可表示为： 若导体受到外力的作用被拉伸或压缩，则会 引起L、A、 的变化，从而引起电阻R的变 化，其电阻相对变化量可表示为： 对半径为r的圆形截面电阻丝 电阻丝的径向和轴向的变化的关系为： K为电阻的应变灵敏系数，它的物理意义是单 位应变所引起的电阻相对变化量，对于大多 数的金属应变片，由于材料的电阻率受应变的影响很少， 对K起主要作用，而半导体材料却刚好相反， 起主导作用 半导体材料具有较大电阻率的变化率，原因 在于它远比金属导体有显著的压电电阻效应 并且，根据半导体材料的情况和所加压力的 方向，可使电阻率增加或减小 半导体电阻在受到一定方向的应力作用时， 载流子浓度和迁移率改变，导致半导体材料 的电阻率发生强烈变化，其灵敏度比金属应 变电阻高50~80倍 金属应变片 金属应变片一般分为丝式和箔式两种 丝式应变片的敏感栅通常用高电阻率，直径为0.015~0.05mm的金属丝密密排列成栅状形式而成，通过黏结剂固定在绝缘基底及盖片之间 箔式应变片是用极薄的厚度为3~10微米康铜或镍铬金属片腐蚀而成的 半导体应变片 20世纪50年代出现了半导体应变片，它是以 单晶膜片为敏感元件制成的。半导体应变片 的主要优点是灵敏系数高，比金属应变片高 50-80倍，且尺寸小。但其温度稳定性差，在 测量较大应变时非线性严重 式中， 为压阻系数，与半导体种类以及应力 方向和晶轴方向之间的夹角有关，E为材料的 弹性模量， 为应变量 半导体应变片主要有三种类型：体型、薄膜型和扩散型 体型半导体是将原材料按所需晶向切割成片或条粘贴在弹性元件上使用 薄膜型应变片的厚度一般在0.1微米以下，可将薄膜直接蒸镀在传感器的弹性元件上，从而去掉了粘贴工艺，提高了稳定性 扩散型半导体应变片用硅支持片作为弹性元件，在它上面直接扩散P型或N型半导体，制成整体式传感器 硅压阻式压力传感器有外壳、硅膜片和引线等组成。硅膜片是核心部分，在硅膜片上，用半导体工艺中的扩散掺杂法做成四个相等的电阻，接成惠斯登电桥再用压焊法与外引线相连 膜片的一侧是和被测介质相连接的高压腔，另一侧是低压腔，通常和大气相连，也有做成真空的。当膜片两边存在压力差时，膜片发生变形，产生应力应变，从而使扩散电阻的电阻值发生变化，电桥失去平衡，输出电压的大小就反映了膜片所受压力差值 扩散硅压力传感器结构图 半导体应变片 金属丝或箔式应变片性能稳定，准确度高，但其应变灵敏系数K较小，对粘贴工艺要求严格，不利于生产和使用 半导体应变片的主要优点是灵敏系数高，比金属应变片高50~80倍，但其温度稳定性较差，在测量较大应变时非线性严重 应变片主要性能指标举例 上表中，哪几个型号是半导体应变片？依据是什么？ 应变片的主要特性 （1）灵敏系数K 当应变片安装在试件表面时，在其轴线方向的单向应力作用下，应变片的阻值相对变化与试件上主应力方向的应变之比，即为灵敏系数 K值的准确度直接影响测量结果，一般要求K值尽量大且稳定，试验表明K在很大应变范围内是常数 （2）绝缘电阻 绝缘电阻一般是指已安装的应变计的敏感栅和引线与被测件之间的电阻值，一般应大于1010欧姆 （3）横向效应 在各直线段上，电阻丝只感受轴向拉伸应变，故各微段电阻值是增加的，但在弯曲的圆弧处，应变片不但承受轴向的拉伸应变，同时在与轴向相垂直方向产生横向应变 由于横向应变的影响，圆弧段的电阻变化必然小于其等长电阻沿轴向的电阻变化 直的线材绕成敏感栅后，即使总长度相同，应变状态一样，应变敏感栅的电阻变化仍要小一些，从而导致灵敏系数K的改变，这种现象称为横向效应 （4）机械滞后 应变片贴在试件上以后，在一定温度下，进行循环的加载和卸载，加载和卸载时的输入输出特性曲线不重合的现象称机械滞后 产生机械滞后的主要原因是敏感栅、基底、黏结剂在承受机械应变后留下的残余变形。为减少机械滞后对测量的影响，在正常使用之前，预先加载卸载若干次 （5）零漂和蠕变 粘贴在试件上的应变片，在恒定温度下，不承受机械应变时，指示应变值随时间变化的特性称为应变片的零漂 在恒定温度下，使应变片承受一恒定的机械应变，指示应变值随时间变化的特性称应变片的蠕变 （6）允许电流 是指应变片不因电流产生的热量而影响测量准确度所允许通过的最大电流 它与应变片的尺寸、黏结剂、试件材料和尺寸及环境有关。要根据具体情况进行计算，在实际使用中，静态测量时允许电流为25mA，动态测量时可达75~100mA （7）应变极限 理想情况下，应变片电阻相对变化与所承受的轴向应变成正比，即灵敏系数为常数，这种情况只能在一定范围内才能保持 当试件表面的应变超过某一数值