微结构(MEMS)材料力学性能测试技术.ppt

* 微结构（MEMS）材料力学性能的测试技术 MEMS技术的迅猛发展，推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展。 MEMS的定义： microelectromechanical system(微电子机械系统)是集传感、信息处理和执行于一体的集成微系统。 MEMS所独有的优点（小体积、大批量、低成本、可靠性），近十年来已成为世界各发达国家高新技术领域研究的热点。 MEMS器件的开发热点：传感、致动、射频（RF）、光学、生化和医学等不同领域。 所使用的材料：单晶硅、和在其上形成的微、亚微米级厚的薄膜为主。 薄膜主要有：单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅和一些金属、和一些高分子材料。 制造方法 化学沉积、溅射、电镀等方法形成薄膜，再经光刻、蚀刻、牺牲层腐蚀、体硅腐蚀等形成各种形状，构成微机械结构。 基本构件 主要有细丝、悬臂梁、微桥、薄膜、齿轮和微轴承等。 －当构件细微到微米/纳米尺度后，材料本身的力学、物理性质及其受环境的影响程度有很大变化，会出现强烈的尺寸效应、表面效应，传统的力学性能参数已不能满足MEMS微结构的设计要求。 －当构件小到一定程度时，由于表面效应、组织结构及加工过程的影响，材料的力学性能与体相时相比有显著的不同，如：单、多晶硅显示出较大的断裂强度和较小的裂纹扩展速度等； 目前，由测试所得到的微结构件的力学性能参数分散性较大，甚至连最基础的弹性模量都没有一个公认的结果。 －目前，硅类薄膜材料的电学、化学特性均得到了充分的了解，但对其力学性能的了解还甚少，主要原因是力学性能测试技术未能跟上，对MEMS结构的可靠性和失效性的研究还不充分，由于缺乏有关微结构材料力学性能的基础数据，目前还没有建立起一个有效的机械可靠性设计准则，严重地阻碍了MEMS的设计和发展。 有些学者把这些状况归结为两个主要原因： 解释数据的模型不够准确 试件的几何尺寸测量的误差较大 MEMS器件在工业中得到了广泛的应用，但其结构部分的形式有限，大多数MEMS的设计包括如下一些基本单元 一端固定悬臂梁 两端固定悬臂梁 微型薄膜 微型铰链 微型齿轮 微型弹簧 微型反射板 MEMS的设计和服役中需了解的力学特性 ①弹性模量：决定着器件的结构响应特性； ②残余应力：影响器件的成品率和服役性能； ③断裂强度：设计承载结构中最重要的材料特性； ④疲劳强度：决定器件长期服役的可靠性； －MEMS器件的特征长度一般小于1mm,因而，测试设备和方法成为最大难题。如：如何制作、夹持、对中微小试件，如何提高载荷和位移的分辨率等。 －自从1982年诞生了的一台扫描隧道显微镜（STM）后，人们才对微/纳观尺度的观测有了新手段。之后，又有了原子力显微镜（AFM）和纳米压痕测试系统，从而极大的推动了微/纳尺度下材料的性能测试研究。 － ＋ 反馈系统 nm STM原理示意图 STM的构造及测试原理 －当探针与被测试件足够接近时，将会发生隧道效应，产生隧道电流; －相对距离的变化使隧道电流发生很大变化，通过反馈系统调节探针的高度来维持电流为常值，从而得到被测试件的表面物理特征。 V AFM的构造及测试原理 同STM类似，其反馈系统不是电流，而是探针和试样表面的作用力。一般和探针相联结的是一个悬臂梁结构，通过光信号对悬臂梁的弯曲作用反馈控制，以此来识别表面的物理特征。 微结构材料力学性能的测试方法大致可分为：片外测试和片上测试两类。 片外测试系统： －片外测试是以MEMS工艺为基础加工出微小试件，用外部专门的仪器设备对试件加载，并检测载荷和位移。 其测试方法包括： 单轴拉伸法； 纳米压痕法； 鼓膜法； 微梁弯曲法； 衬底曲率法； 一、单轴拉伸法： 是获得薄膜力学特性最直接的方法，主要用于研究与衬底分离的独立薄膜构件的力学行为。通过记录试件的应力－应变曲线，可直接测得试件的杨氏模量、屈曲强度和断裂强度。 难点：薄膜材料易碎，试件加工、安装和夹持比较困难。同时实验还要求较高分辨率的应力和应变测量。 针对以上困难，人们研发出许多拉伸测试系统，巧妙解决了试件的安装、夹持问题。 1992年Read等人设计的带保护框试件的放大图 原理： 先把带保护框架的试件安装在测试系统中，再在显微镜下用锯把保护框架中和试件平行的部分切掉，释放试件。 特点： 由于试件保护框的尺寸在毫米量级，便于操作。但无法保证同轴度及切割保护框时对试件的冲击作用。 1、带有保护框的试件测试 静电力夹持拉伸装置示意图 1998年Tsuchiya等人设计 原理： 将拉伸试件的一端固定在测试台上，另一端设计成一个大的电极板，靠静电力固定在驱动端。 特点：简化了试件的安装和夹持，同时提高了试件和驱动器的同轴度。 2、静电力夹持拉伸 3、自由端环状悬臂梁试件拉伸 1999年Greek等人设计的自由端环状悬臂梁试件的SEM图 原