a smart single-chip micro-hotplate-based gas sensor system in cmos-technology（智能单片机板基于气体传感器系统在cmos技术）-【外文翻译】.docVIP

译文 智能单片机板基于气体传感器系统在CMOS技术 摘 要:本文提出了一种关于单片机的化学气体传感器系统，其制造工艺CMOS技术结合了CMOS微处理技术。该系统包括金属氧化物覆盖（二氧化锡）微型热板、必要的驱动器及信号调节电路。二氧化锡层的敏感操作温度在200--350 ℃之间，在芯片上的温度控制器调节温度膜高达350 ℃，特别带有0.5 ℃的加热器设计，用来实现膜温度达到350 ℃、供电电压达到5伏的目的。加热器的这种设计是为了使热板在加热的过程中温度能够均匀分布均匀受热（最高温度在1-2％波动）。温度传感器，内外膜是良好的热绝缘膜，它之间的的电路面积及大部分芯片在350 ℃膜温度时，芯片温度上升的最大值6 ℃。对数转换器包含了测量电阻变化时二氧化锡气体泄漏的一系列4个数量级。一个模拟硬件描述语言（AHDL）模型膜发展使模拟系统完整化。气体检测证明，试验中的气体检测浓度有所限制，二氧化碳低于1浓度和甲烷浓度低于100 。 关键词：金属氧化物气体传感器；模拟IC设计；AHDL ；CMOS兼容微处理器；微型热板 引言 对于CMOS微处理有一种强烈的兴趣，特别是在微型热板的气体传感器方面，原因是小型的单片机传感器和电路提供了巨大的优势，如低电量耗费，潜在的成本低并采用新的动态传感器运作模式。 二氧化锡是一种广泛使用的敏感材料气敏环境空气中。二氧化锡被加热到温度200至350 ℃后，气体接触改变它的导电性。为了实现高温度状态下运行时的电量耗费最低，在过去的几年里，利用微热板结构图开发出了金属氧化物气体传感器。微型热板包括一个热隔离区、加热器结构、温度传感器和接触电极的敏感层。许多微型热板被称为“ CMOS兼容器 ”，但只有为数不多才生产了标准CMOS工艺。 微型热板的气体传感器系统实施在一个多芯片上的方法如下，即微型热板被安置在一块芯片上时，一定要有一个单独专用集成集成电路驱动信号调理电路。它的建立，把微观热板和相应的电路连接在同一基板上，但同时避免过度加热电子。附加功能的单片解决方案包括：低功耗消费，低噪声，可靠的电子信号，高收益，低生产成本的比较，多芯片的办法。一体化的多气体传感器的传感器排列，利用多组分析算法，如主要成分回归（PCR）或人工神经网络（ANN），并采用新的动态传感器运作模式，有助于克服相关问题的选择性和漂移的气体传感器。 系统描述 2.1膜 图1显示了镜微系统芯片采用的是标准的双聚、双金属的0.8μm CMOS进程。 该芯片的主机微热板（图2），这是独立芯片其放置在一个非常薄的膜和低热量上传导。由膜构成的介电质层（氧化硅/氮化硅）并配备了额外的N个区域（未连接到主体），它采用了氢氧化钾腐蚀与电化学腐蚀使其停止工作。腐蚀后的氧化锡敏感层沉积膜如图3所示。 膜是500×500μm大小的加热面积，微热板面积为300 ×300μm。温度高的区域出现6微米厚的N区域中热量的均匀分布。该膜具有多晶硅加热器，提供热量和功耗。四多晶硅电阻温度传感器（图2）是综合性的膜，以监测热分布。多晶硅温度传感器位于市中心的膜，提供投入的温度控制电路。实验评估最高温度的变化是整个膜1-2 ％，温度可高达350 ℃和膜的功率效率为4.8 ℃ /兆瓦。 2.2电路 图4 是芯片的示意图。该电路分为三个基本功能： （一）膜的温度控制回路；（二）大部分芯片温度测量；（三）锡电阻测量。该芯片是带有偏置电流的独立测温的偏置膜温度传感器。 比例温度控制器（图5）实施一个运算放大器和内部带有8 pF的稳定电容器。膜温度控制房间温度高达350 ℃，该运算放大器驱动功率晶体管，它提供了前面的多晶硅加热器。投入的运算放大器组成的控制电压（ VCONTROL ）和电压降的多晶硅温度传感器（ RTEMP感应器 ），它提供了反馈信号的温度控制器。多晶硅是有偏置的温度传感器并且温度无关的电流（IBIAS）。老化的多晶硅温度传感器得不到补偿的电子芯片。主导极点的温度控制系统是由热时间常数的膜决定，大约20毫秒。一个片上稳定电容用来滤掉低频信号的运算放大器。 比例温度控制器主要优势是它占用芯片面积小，最重要设计中的比例控制器之间的稳定（相位裕量）和稳态误差。当开环增益控制器增加时，相位裕量和稳态误差减少，反之亦然。一个很好的稳定相位裕量和稳态误差，开环增益为76分贝，相位裕量大约88。 温度控制器的稳态误差主要介绍了偏移电压的运算放大器，这是独立的开环增益的系统，即稳态误差在偏移电压的运算放大器没有减少时，开环增益的增加。校准传感器时，在室温条件下，失调电压为补偿（即稳态误差补偿是在室温条件下），但温度会影响偏移电压。稳态误差测量传感器系统操