材料分析测试方法-13-3(SPM).pptVIP

问题：达到原子级分辨率的显微仪器有哪些？ 目前达到原子分辨的三种仪器： 透射电子显微镜（TEM，1931，Ruska） 场离子显微镜（FIM，1951，Muller） 扫描隧道显微镜（STM，1981，Binnig Rohrer） 高分辨显微仪器主要特点 　 一、扫描探针显微镜定义 　　 扫描探针显微镜(Scanning probe microscopy, SPM)是用微探针在样品表面扫描，通过针尖与样品表面原子的物理化学作用以探测样品的显微镜。 SPM完全失去了传统显微镜的概念，其图像分辨率主要取决于探针尖端的曲率半径（通常在纳米范围）。 　 　二、扫描探针显微镜发展 　　 1981年，扫描隧道显微镜，第一种扫描探针显微镜第一次实时观察单个原子； 1986年，原子力显微镜，弥补了STM只能观察导电材料的不足； 1987，磁力显微镜、摩擦力显微镜 1988，静电力显微镜 1989，扫描电化学显微镜 1991，扫描此振力显微镜 1984~1992，扫描近场光学显微镜 　三、扫描探针显微镜分类 　　 STM 扫描隧道显微镜 SFM 扫描力显微镜(AFM、EFM、MFM、CFM、LFM) NSOM 扫描近场光学显微镜 PSTM 光子扫描隧道显微镜 SCM 电容扫