二氧化硅微球的扫描电镜测长与形貌观察条件.pdfVIP

第嚣卷第5蘩 电子显裰学擐 ￥羹。27。No。5 2008年lO月 ofChineseElectron 2009—lO Journal Society Microscopy 文意编号：1000．6281(200s)05．0384-06 二氧化硅微球的扫描电镜测长及形貌观察条件 朴玲钰1，常怀秋1，刘军涛2，贺蒙1，任湘菱3，唐芳琼3 (1．国家纳拳科学中心，北京lool90；2．天荧(中国)科学仪嚣有限公司，北京100009； 3。中霹稃学院理纯技拳研究绣。北京l∞l粥) 攘赛：本文稿蹲立S-4800型冷磅震精扭描电镜对车弱耪撩二氧讫硅擞球连行越长研究及影貌躐豢，钎对二氧稻 硅材料特性和工作目标，使用多种测试条件，通过结果对比。分别获得测定二氧化硅微球直径和进行形貌观察的适 宜条件。 关键词：扫描电镜；二氯化硅微球