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·真空电子与专用金属材料
陶瓷一金属封接专辑·
焊料与金属材料对陶瓷/金属封接强度的影响
程 建,刘慧卿,崔 颖,韦 艳
(北京真空电子技术研究所,北京100015)
InfluenceofSolderandMetal on
MaterialMetal-CeramicSeal
Strength
CHENG Yan
Jian,LIU
Hui—qing,CUIYing,WEI
VacuumElectronicsResearch 100015,China)
(Beijing Institute,Beijing
methodof metal—ceramicseals is inthis
Abstract:Themakingstrong bybrazinginvestigatedpaper.
Whenmetal—ceramicisdonewith eutectic foundthat
sealing Ag/Cu alloy,Pd/Ag/Cu,Au/Cu,we
strong
sealscouldbeattainedona aluminawith seal 150
Cu,the areaboutMPa.However,
metalizing strength
whenthesame is toaluminawith wasformed.When
brazing kovar,unsatisfactory Ag/Cu
applied sealing
eutectic are areabout100MPa;When are
alloy,Pd/Ag/Cuused,strength Au/Cu,Au/Ni
are about80MPa.
only
words:Sealstrength,Braze,Metal
Key
摘要:对焊料与金属材料对陶瓷/金属封接强度的影响进行了初步分析与探讨。发现:用AuCu、AuNi焊料焊接陶瓷/可
伐时,因为封接件的断裂模式为大量Mo—Ni分层,所以平均封接强度只有80
封接件的断裂模式为Mo—Mo分层或Mo—Ni分层,平均封接强度在100MPa左右;用Ag、Cu焊料焊接陶瓷/可伐时,封接件的
断裂模式为粘瓷或瓷断,平均封接强度达150
式为粘瓷或瓷断,所以平均封接强度在150MPa左右,比用同种焊料焊接陶瓷/可伐时最高提高了80%。
关键词:封接强度;焊料;金属
中里分类号:TB756文献标识码:A 文章编号:1002--8935{2012)04--0021--03
陶瓷/金属封接是真空电子器件中的关键工艺, (Mo含量为70~75%),在立式氢炉的氮氢混合气
它普遍应用于集成电路封装、原子能、医疗设备、国 氛下以1420~1480℃的温度烧结,之后对已金属化
防等科技领域。陶瓷/金属的封接质量对器件和整 瓷件电镀Ni,
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