焊料金属材料对陶瓷%2f金属封接强度影响.pdfVIP

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·真空电子与专用金属材料 陶瓷一金属封接专辑· 焊料与金属材料对陶瓷/金属封接强度的影响 程 建,刘慧卿,崔 颖,韦 艳 (北京真空电子技术研究所,北京100015) InfluenceofSolderandMetal on MaterialMetal-CeramicSeal Strength CHENG Yan Jian,LIU Hui—qing,CUIYing,WEI VacuumElectronicsResearch 100015,China) (Beijing Institute,Beijing methodof metal—ceramicseals is inthis Abstract:Themakingstrong bybrazinginvestigatedpaper. Whenmetal—ceramicisdonewith eutectic foundthat sealing Ag/Cu alloy,Pd/Ag/Cu,Au/Cu,we strong sealscouldbeattainedona aluminawith seal 150 Cu,the areaboutMPa.However, metalizing strength whenthesame is toaluminawith wasformed.When brazing kovar,unsatisfactory Ag/Cu applied sealing eutectic are areabout100MPa;When are alloy,Pd/Ag/Cuused,strength Au/Cu,Au/Ni are about80MPa. only words:Sealstrength,Braze,Metal Key 摘要:对焊料与金属材料对陶瓷/金属封接强度的影响进行了初步分析与探讨。发现:用AuCu、AuNi焊料焊接陶瓷/可 伐时,因为封接件的断裂模式为大量Mo—Ni分层,所以平均封接强度只有80 封接件的断裂模式为Mo—Mo分层或Mo—Ni分层,平均封接强度在100MPa左右;用Ag、Cu焊料焊接陶瓷/可伐时,封接件的 断裂模式为粘瓷或瓷断,平均封接强度达150 式为粘瓷或瓷断,所以平均封接强度在150MPa左右,比用同种焊料焊接陶瓷/可伐时最高提高了80%。 关键词:封接强度;焊料;金属 中里分类号:TB756文献标识码:A 文章编号:1002--8935{2012)04--0021--03 陶瓷/金属封接是真空电子器件中的关键工艺, (Mo含量为70~75%),在立式氢炉的氮氢混合气 它普遍应用于集成电路封装、原子能、医疗设备、国 氛下以1420~1480℃的温度烧结,之后对已金属化 防等科技领域。陶瓷/金属的封接质量对器件和整 瓷件电镀Ni,

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