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QIHANG上海企航科技咨询有限公司 ESD控制方案认证检验检测技术 一、认证检验计划要求 文件化的质量管理体系架构 1、静电放电控制方案计划 目的：本标准的目的是提供行政和技术上的要求，以及建立，实施和维护静电放电的控制方案(文中称“方案”)。 各单位应制定一个静电放电控制方案计划，将方案中的每一个要求都一一列出。这些要求是： ? 培训 ? 认证检验 ? 接地及等电位相连系统 ? 人员接地 ? 静电放电保护区之要求 ? 包装系统 ? 标记 静电放电控制方案计划是实施和检验静电放电控制方案的首要文件。其目标是全面实施和整合一个与内部质量系统要求相符合的方案。该静电放电控制方案计划应适用于单位内部工作的各个方面。 2、认证检验计划 认证检验计划的建立，是要确保单位能够满足静电放电方案计划的要求。 认证检验计划应该明确要进行检验的技术要求，相关的测试范围及认证频率。根据此计划进行认证检验。认证检验计划还应规定，检测和测试方法及设备。 如果单位采用的方法与本文件所列出的标准有差异，必须提供一个修改声明作为静电放电控制方案计划的一部分存档。认证检验纪录应该被确认并保存，以便证明符合了静电放电控制方案中的技术要求。 所选择的测试设备应能够完成认证检验计划中定义的测量项目。 3、合格检验与认证检验 标准中有哪些合格检验及认证检验参数要求？ 哪些物品哪些地方要认证检验？ 要用什么检验设备？ 用什么方法检验？ 4、哪些物品要定期验证？ ESD TR53-01：2006--静电放电保护设备和材料之达标验证---建议下列所述之静电放电防护品、材料及设备等应定期接受功能性验证检测： 接地/搭接系统 工作台面 手腕带 手腕带性能测试器 防静电鞋 地板材质 服装 座椅 移动式设备(手推車) 包装 静电消除器 人员接地系统 5、ESD 物品检测频率与方式 6 、静电用品测试标准 7、ESDA认可的认证机构 ? DNV Certification, Inc. ? BSI, Inc. ? QMI, A Division of CSA Group ? National Quality Assurance, USA (NQA, USA) ? Lloyds Register Quality Assurance, Inc.(LRQA) ? TUV America, Inc ? SGS SA ? PSB Certification ? BVQi (NA), Inc. 二、符合性验证技术 1、接地/搭接系统符合性验证 目的：确保EPA 工作站内所有之工作台面、固定式装置、手持式装置及人员接地装置等均应連接至共同接地点(Common point ground；CPG)。共同接地点再行連接至ESD 接地/搭接參考点。 一般ESD 接地/搭接參考点应为交流电(AC)设备接地点。若采用辅助接地时，应搭接至交流电(AC)设备接地。 检测设备： (A)直流奥姆计：可量测范围应为 0.1Ω～1MΩ，精确度应为±10%。 (B) 交流电插座分析器：指示设备接地导线是否存在。地线与中线、火线与中性线、火线与接地线是否装置颠倒、设备接地线阻抗是否符合规范要求、 (C) 交流电电路测试器(阻抗计)：量测设备接地导体自电源插座至主电源控制盘中性搭接点间之阻抗值，也具可检测接线正确性。 (D)兩条适当长度之检测連接导线。 万用表/直流奥姆计 电压档：量交流、直流电压值 电阻档：量接地、手环阻抗 插头与拉环间阻抗为1MΩ±10% 断路器的使用 交流电插座分析器 左零右火上地是否正确 地、中线阻抗 钳形接地电阻测试仪 ?测量原理：测量回路电阻，仪表的钳口部分由电压线圈及电流线圈组成。电压线圈提供激励信号，并在被测回路上感应一个电势E。在电势E的作用下将在被测回路产生电流I。仪表对E及I进行量测，并通过欧姆定理：R= E/I 测量范围：0.1Ω-1000Ω, 分辨率；0.01Ω. 自动厂房静电接地系统监测器： 可同时并实时监测兩个作业员腕带和兩个工作枱面的ESD接地狀况 有独立的安全警报声响告警装置 采用电阻回路监控方式，准确而有效 2、防静电手腕带接地实时监测器符合性验证 标准没有作要求 3、工作台面符合性验证 目的：确保ESD 防护工作台面、架子、抽屉、ESD 防护储存设备是否搭接至接地/搭接參考点。电阻是否符合。 (1)检测设备：高阻表(MeggerMeter /High Resistance Ohmmeter) (A)测量范围:1×103Ω ～1.999×1013Ω(至少要10次方以上，最大可测电阻1×1016Ω) (B) 圆柱电极 ：符合ANSI/EOS/ESD4.1规定。重2.27±0.06kg、半径63.5±0.25mm 体积圆柱、导电接触材料硬度等