压力、位移与振动测量..docVIP

实验十二 压阻式压力传感器的压力测量 实验目的 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 基本原理 扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条，接成电桥。在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。 实验仪器 主机箱、压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、引压胶管。 四、 实验步骤 1、 将压力传感器安装在实验模板的支架上，按照图12－1－1连接管路和电路（主机箱内的气源部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好）。引压胶管一端插入主机箱面板上气源的快速接口中（注意管子拆卸时请用双指按住气源快速接口边缘往内压，则可轻松拉出），另一端口与压力传感器相连。 注意： 压力传感器引线为4芯线： 1端接地线，2端为U0＋，3端接＋4V电源，4端为Uo－，接线见图12－1－1。 图12－1－1 压阻式压力传感器测压实验安装、接线 2、 实验模板上RW2用于调节放大器零位，RW1调节放大器增益。按图12－1－1将实验模板的放大器输出V02接到主机箱(电压表)的Vin插孔，将主机箱中的显示选择开关拨到2V档，合上主机箱电源开关，RW1旋到满度的1/3位置(即逆时针旋到底再顺时针旋2圈)，仔细调节RW2使主机箱电压表显示为零。 3、合上主机箱上的气源开关，启