基于开关电容技术的压力传感器接口电路的研究..docVIP

合肥通用职业技术学院 毕业论文 题目：基于开关电容技术的压力传感器接口电路的研究 学院：合肥通用职业技术学院 专业：检测技术及应用 班级：检测801 学生：尹丽美 学号指导老师：汪琴芳 二0一一年二月十六日 基于开关电容技术的压力传感器接口电路的研究 《摘　　要: 介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响.使用Pspice对接12电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数.最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80～110 kPa量程内,接口电路的分辨率为3.77 Hz/hPa. 关 键 词: 微机电系统单片集成电容接口电路电容-频率转化电容式压力传感器测试结果接口电路设计张弛振荡器仿真结果阈值电平 　An interface circuit based on the principle of capacitance-frequency conversion of the capacitive pressure sensor was introduced.The influences of the fluctuation of temperature and process were eliminated in virtue of differe