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1.Wide Field Optics™ Tescan
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II.160ns/10ms/
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Correction) (Structure) (Invert) (Convert to
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1.:(3.0nm at 30kv 8.0nm at 3kv
(): 3.5 nm at 30 kV(HU)
() 3.5 nm at 30 kV (U)
2.:4 to 1000000×
3.:9*10 -3Pa
3~500Pa(U)
2000Pa(U)
4.0.2kV to 30Kv
5.1pA—2uA
6.:230mm(width)×148mm(depth)
7.:
:
X=80mm
Y=60mm
Z=47mm
R=360
T=-75 50
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